Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649525 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un équipement de traitement de microélectronique à semi-conducteur qui utilise un procédé de gravure/ashing très efficace. Le système est capable de graver/aspirer une variété de matériaux différents, y compris une gamme de silicium, de siloxanes et d'autres matériaux semi-conducteurs divers. Cette unité de gravure/cueillette est particulièrement efficace lors de gravure et/ou de petites tailles de caractéristiques, ce qui permet le traitement de petits détecteurs, transistors et autres dispositifs semi-conducteurs. Le procédé de gravure/cueillette consiste en plusieurs étapes contrôlées de précision. Ces étapes ont été conçues pour obtenir une uniformité dans le processus de gravure, nécessaire à la génération de dispositifs microélectroniques fiables et cohérents. L'étape initiale du procédé utilise un vaporisateur, pour vaporiser le matériau cible avec un motif de vaporisation tridimensionnel. On procède ensuite à une machine d'injection de carburant qui fournit une énergie thermique supplémentaire au matériau déposé pour augmenter la vitesse de dissociation. Pour uniformiser le procédé, un faisceau laser de haute intensité est ensuite dirigé sur le substrat pour chauffer sélectivement le matériau cible à des sites spécifiques. Une fois la chaleur appliquée, le matériau gravé est alors exposé à un environnement plasma. Cet environnement provoque une nouvelle dissociation du matériau en molécules constitutives. En contrôlant précisément les conditions à l'intérieur de la chambre à plasma, on peut graver sélectivement les composants. Le procédé de gravure-cueillette est également capable d'enlever de la matière de manière très contrôlée. Pour ce faire, on utilise un outil de balayage à haute puissance. Le faisceau est passé en séquence à travers la surface du substrat, ce qui provoque l'élimination progressive du matériau. Enfin, un atout de combinaison est utilisé pour combiner les différentes composantes du processus de gravure/cueillette. Ce modèle comprend un panneau de contrôle automatisé, qui permet un contrôle individuel et complet de l'ensemble du processus. Le panneau de commande est utilisé pour définir des paramètres tels que le temps de gravure, la température du plasma, la pression et la puissance laser. TEL INDYPLUS est un équipement de gravure/ashing très efficace et offre une variété de procédés de gravure avancés pour des matériaux distincts. Le système est conçu pour fournir des processus de gravure efficaces et précis pour la production de dispositifs microélectroniques de haute qualité et fiables.