Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649527 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un équipement de gravure/ashing de renom développé par TEL (TOKYO ELECTRON), un fournisseur mondial de premier plan d'équipements de production de semi-conducteurs de pointe. Ce système de pointe est conçu pour modeler, graver et microniser avec précision une large gamme de matériaux semi-conducteurs fréquemment utilisés à travers des espèces chimiques activées par plasma. Il s'agit notamment du silicium polycristallin, des polyimides, du nitrure de silicium, de la gravure de nitrure et du silicium poly-dopé. TEL INDYPLUS procédé de gravure/ashing comprend deux étapes : pré-gravure et post-gravure. Le procédé de pré-gravure utilise une source de plasma à couplage inductif (ICP) pour générer les ions nécessaires à la configuration de gravure des matériaux semi-conducteurs. Cette étape permet de réaliser une gravure uniforme et de qualité sur toutes les surfaces cibles du substrat. Pour le processus post-gravure, l'unité TOKYO ELECTRON INDY PLUS est dotée d'une impressionnante anisotropie digitale (DEDA). Cette caractéristique intéressante permet une gravure très précise des surfaces cibles du substrat. Cette gravure de précision permet à la machine INDYPLUS d'atteindre un taux de résolution pouvant atteindre 5 nanomètres. De plus, INDY PLUS utilise une géométrie à base perforée, ce qui garantit une grande homogénéité du flux gazeux vers la zone de gravure. Cette uniformité garantit un motif de gravure reproductible tout au long du processus. Indy Plus est également livré avec un outil de microscopie haute résolution pour inspecter les motifs de gravure. Il permet l'imagerie en temps réel et permet aux utilisateurs de suivre l'avancement de leur processus de gravure ainsi que de vérifier les défauts et autres imperfections. Comme élément de sécurité supplémentaire, TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS comprend également un modèle de détection d'obturateur qui empêche le rayonnement irradiant de traverser l'équipement lorsque l'obturateur est fermé. Dans l'ensemble, le système TOKYO ELECTRON Indy Plus offre la plate-forme parfaite pour fabriquer des microstructures et des caractéristiques nanométriques sur une large gamme de substrats avec une répétabilité et une précision élevées. Grâce à ses technologies de pointe et ses capacités de gravure, il offre des performances supérieures et est idéal pour une gamme d'applications telles que la lithographie avancée, les dispositifs MEMS et le développement de circuits intégrés.