Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649534 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293649534
Furnace Hi- vaccum line, 4" Pump capacity: 80000.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher avancé avec de multiples fonctionnalités conçues pour fournir des résultats précis. Cet équipement de gravure précis est doté d'un design à six chambres de 300mm compatible avec les dernières technologies, afin d'offrir le plus haut niveau de répétabilité et d'uniformité. TEL INDYPLUS est équipé d'un équipement d'imagerie haute résolution pour la visualisation et la gravure de précision, y compris une caméra d'imagerie numérique de 40 méga pixels, qui peut visualiser le processus de gravure dans une résolution de 4k. Cinq stations de chauffage locales répartissent uniformément la température et fournissent une puissance de gravure uniforme. Le signal RF à deux étages produit des conditions de polarisation stables et répétables tout au long du processus de gravure. L'ensemble du système de contrôle environnemental, y compris la manutention de l'air, est également optimisé pour offrir un environnement de gravure stable et intact. L'unité TOKYO ELECTRON INDY PLUS fonctionne en mode entièrement automatisé, rendant les processus de gravure plus faciles et plus efficaces. Chaque étape d'une recette de gravure est surveillée avec plusieurs capteurs optiques qui mesurent la hauteur, la température, la pression du gaz et d'autres paramètres. Cela permet une répétabilité précise des temps d'étape et des profondeurs de gravure. La machine dispose également d'un outil sous vide qui assure une faible diffusion thermique en éliminant les écarts de température lors de la gravure. Indy Plus etcher/asher a été conçu pour être facile à installer et à entretenir. La suite logicielle avancée comprend une interface opératoire intuitive, des conseils conviviaux pour la collecte de données et un accès à distance en option pour les fonctions de diagnostic à distance et le dépannage. L'actif fournit également des procédures prédéfinies pour différents types de recettes de processus, ce qui facilite le démarrage et l'obtention des résultats souhaités. Grâce à ses différentes caractéristiques et capacités, TOKYO ELECTRON INDYPLUS etcher/asher est une machine incontournable pour obtenir des résultats de gravure précis.
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