Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670479 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher qui apporte précision et rapidité à tout projet de traitement. Cette machine est capable de réaliser des processus de gravure de haute précision avec précision et haut débit. TEL INDYPLUS utilise une technique électrochimique hybride (dépôt sans électrochimie) qui permet une gravure rapide avec une faible consommation de gaz et une bonne sélectivité. Ce graveur/asher est spécialement conçu pour la gravure de précision de divers matériaux, y compris les métaux, le film isolant et les cartes de circuits imprimés. Grâce à sa technologie de micro-moulage, TOKYO ELECTRON INDY PLUS a la capacité de contrôler la gravure et le dépôt de tailles de caractéristiques à haut rapport d'aspect jusqu'à 0,2 μ m. Ce dispositif polyvalent contribue à améliorer la fiabilité et la répétabilité des processus. Indy Plus offre également une interface conviviale qui facilite la configuration et la programmation du processus de gravure. Les options de processus de la machine comprennent le programme de contrôle de temps et de courant, le programme de contrôle ADL (limite de dépôt automatique) et d'autres fonctions de contrôle avancées. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS supporte également des couches gravées jusqu'à 16 µm, y compris un angle arbitraire, une fente transversale et une gravure étagée. INDYPLUS est équipé d'un module frontal semi-conducteur qui supporte la compatibilité de 180nm à 65nm noeuds technologiques. Le module frontal est utilisé pour la gravure alcaline, la gravure plasma pré-motif et le nettoyage post-gravure. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs d'optimiser les processus de gravure de tension continue et de gravure d'impulsions RF/DC. TEL Indy Plus comprend un système de sortie de chambre qui maintient la chambre propre et la pression sous contrôle. Ce système aide à maintenir une température et une pression de fonctionnement stables, aidant à éviter les facteurs qui conduisent à des défauts de processus de gravure. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS dispose également d'un système de vide avancé qui optimise l'uniformité de gravure des plaquettes pour des résultats cohérents. L'inclinaison automatisée de l'étage de plaquettes et la rotation de l'outil à l'outil peuvent également être utilisées pour améliorer les rendements de gravure. Ce graveur/asher a une homogénéité, une stabilité et des caractéristiques de film supérieures qui en font un choix fiable pour une variété de procédés de gravure. TOKYO ELECTRON INDYPLUS est facile à installer et à utiliser ; c'est une solution rentable et adaptée aux lignes de production ou aux laboratoires de R&D.