Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670481 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un équipement de graveur/asher conçu pour des applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. TEL INDYPLUS est équipé de logiciels spécialisés, de composants et de fonctionnalités qui permettent une extrême précision lors de la gravure et de l'ashing sur un substrat. La première étape de gravure est la préparation d'un substrat. TOKYO ELECTRON INDY PLUS disposera de supports de substrat personnalisables, avec la capacité de placer et d'ajuster le positionnement correct des puces avant la gravure. On obtient ainsi des résultats optimaux avec un minimum de poudre toxique résiduelle. Une fois le substrat en place, la gravure est initialement déclenchée par le procédé traditionnel à quartz visqueux ou à plasma inductif couplé (ICP). Pendant le processus de gravure du quartz, les paramètres de configuration du plasma, tels que la pression du gaz, le débit et la fréquence, sont ajustés pour permettre une vitesse de gravure maximale. Dans le processus du PIC, la pression, la fréquence et la forme de l'onde sont régulées pour induire le taux de gravure le plus élevé. TOKYO ELECTRON INDYPLUS est équipé de plusieurs injecteurs de gaz à haute température pour optimiser les conditions de gravure. Le contrôle de température avancé du processus de gravure et de cueillette est disponible pour permettre des résultats entièrement personnalisés. Pour prévenir les déchets, un système de piège isole et traite les gaz d'échappement pendant le processus de gravure, minimisant ainsi l'impact sur l'environnement. Les capteurs intégrés INDYPLUS\' permettent un contrôle complet de la gravure en surveillant avec précision la vitesse de gravure, la température de gravure et les caractéristiques du substrat. L'enregistrement des données en temps réel est disponible pour toutes les variables et peut être téléchargé pour un examen ultérieur. Une fois le processus de gravure terminé, les substrats sont nettoyés avec le procédé de cendrage sec ou humide. Ce procédé détermine la qualité de la gravure et élimine les résidus indésirables. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS offre des capacités intégrées de détection avancée des résidus, et peut soit permettre l'enlèvement du substrat, soit poursuivre le cendrage si nécessaire. TOKYO ELECTRON Indy Plus etcher/asher unit est un outil innovant pour la fabrication et la gravure de dispositifs semi-conducteurs avancés. Avec ses composants avancés et ses options personnalisables, INDY PLUS est la machine de graveur/asher parfaite pour tout processus de fabrication avancé.