Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670483 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus etcher est un outil de traitement semi-conducteur de pointe conçu pour les applications de gravure, de gravure anisotrope et de nettoyage de surface. L'équipement offre une précision et une fiabilité maximales dans les procédés semi-conducteurs tels que la gravure d'oxyde, la gravure en couche S, la gravure de cuivre et d'autres opérations avancées de gravure et de nettoyage. Sa philosophie de conception unique met les fonctionnalités et les technologies de pointe dans un ensemble complet, simplifiant l'ensemble du processus et réduisant les coûts de propriété tout en augmentant l'efficacité et les économies. TEL INDYPLUS se compose d'un ensemble compact et est conçu pour être facilement intégré dans les environnements de salles blanches existants. Ce système comprend un contrôle automatisé, une surveillance fiable et des options de configuration flexibles. L'unité comprend également un contrôle dynamique de la pression, une rotation à grande vitesse, un réglage étendu de la gamme de puissance RF, une compatibilité de mise à niveau logicielle et un contrôle de recette simple pour une précision et une répétabilité plus élevées. Le graveur de pointe est équipé d'une machine de distribution de gaz efficace et offre une large gamme de gaz réactifs tels que SF6, CHF3, CF4, C4F8, O2 et Ar. Il utilise un mandrin électrostatique à commande numérique pour maintenir la plaquette à l'angle précis et fournit des paramètres de traitement uniformes sur une gamme d'applications de gravure et de nettoyage de surface. Le générateur RF interne de l'outil offre une plage de puissance allant jusqu'à 600 W et peut être facilement ajusté pour des résultats de processus optimisés. L'option d'ajouter un puissant générateur haute tension aide à personnaliser la recette de gravure pour une efficacité maximale. TOKYO ELECTRON INDY PLUS etcher comprend également une variété de fonctionnalités avancées telles qu'un suppresseur d'ions, un contrôle de température de précision, un contrôle de pression cible, et un interféromètre laser 3D pour une précision et une répétabilité améliorées. Cette fonction permet de réduire les déchets de plaquettes et d'assurer une qualité de produit final plus fiable. Le nettoyant intégré aide également à nettoyer la plaquette entre les cycles de traitement, contribuant ainsi à maintenir l'intégrité de la plaquette. TOKYO ELECTRON Indy Plus etcher est une solution très fiable et économique pour les applications de gravure de semi-conducteurs et de nettoyage de surface. Il offre une solution tout-en-un capable de répondre aux exigences de traitement les plus élevées, tout en maintenant un faible coût de propriété. L'actif peut être facilement intégré aux systèmes d'automatisation de salles blanches existants et est idéal pour les processus de fabrication à haut volume et à coût sensible.