Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670484 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher, conçu pour le traitement haute précision et à haut débit des plaquettes semi-conductrices. L'équipement est de qualité industrielle, avec un cadre robuste pour une rigidité maximale et un amortissement des vibrations. Il dispose d'une technologie de régulation de la température, d'un système de régulation en boucle fermée et d'une régulation de la température de modulation. L'unité dispose également d'un bras robot, permettant le chargement/déchargement automatique des plaquettes et des pièces. L'etcher/asher fonctionne sur un logiciel PLC avancé qui fournit une unité de contrôle complète pour gérer les opérations et minimiser les temps d'arrêt de production. Il est capable d'assurer la répétabilité et la précision du processus dans la gamme ± 0.1-0.7um (micromètres) pour les surfaces des plaquettes. La technologie avancée de gravure à la vapeur de TEL INDYPLUS permet de minimiser l'instabilité du stockage et de créer des surfaces propres. L'unité est conçue pour une grande variété de procédés de gravure : elle peut traiter différents gaz, fournir des vitesses de gravure variables, et fournir une gravure de haute précision des microstructures. TOKYO ELECTRON INDY PLUS est conforme à l'EPA et dispose de technologies de pointe de réduction des émissions. Il s'agit notamment de systèmes à faible débit et de recyclage, de systèmes de transformation et de purification du plasma et de détecteurs à double fuite. Il est capable de capturer et de stocker les contaminants, les empêchant d'entrer dans l'environnement local. La machine comprend une multitude de dispositifs de sécurité conçus pour minimiser les risques associés aux matières dangereuses. TOKYO ELECTRON Indy Plus dispose d'un outil de sauvegarde, d'un bouton d'arrêt d'urgence, d'un outil sans ventilation et d'une surveillance automatique. L'unité surveille en permanence ses niveaux de performance pour détecter rapidement tout problème. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS est facile à utiliser et à entretenir. Il est disponible avec une interface homme-machine à écran tactile, permettant aux utilisateurs de configurer et de contrôler le modèle avec un minimum d'effort et de temps. Tous les composants sont également facilement accessibles pour un entretien rapide.
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