Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293754740 à vendre en France
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ID: 293754740
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12"
Process: TEOS
Atomic Layer Deposition (ALD)
Poly
Nitride
2009-2018 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est une plate-forme de gravure et d'ashing sophistiquée qui fournit aux utilisateurs un niveau élevé de précision et de précision. Il aide à créer des géométries complexes avec des tolérances de 0,3-2 microns. Il est idéal pour l'industrie aérospatiale, médicale et semi-conductrice. TEL INDYPLUS est une machine de gravure/cueillette qui intègre deux processus ensemble pour des résultats rapides dans la plus haute qualité. Il combine gravure et cendre en un seul processus et est capable de créer jusqu'à deux niveaux de structures. Les niveaux élevés de précision et de vitesse de TOKYO ELECTRON INDY PLUS peuvent être attribués à deux composants principaux : l'E-Gun et l'E-Pod. Le E-Gun utilise une haute tension pour générer des arcs électriques pour graver et aspirer des motifs sur le substrat. La gousse électrique, d'autre part, accélère le processus et aide à réduire le temps nécessaire gravure et cendres d'une quantité considérable. Il aide également à réduire les non-uniformités dans le motif gravé/cendré. INDY PLUS dispose également d'un contrôle des matériaux de haute précision car il est équipé d'une caméra CCD haute performance (appareil à couplage de charge) et d'une technologie de détection laser. Cela garantit un haut niveau de précision et de précision car la caméra est capable de détecter des changements subtils tels que la non-uniformité, warpage et variation de stress. Ensemble, ces caractéristiques font de TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS l'une des machines de gravure et de cendrage les plus précises et précises du marché. INDYPLUS est également une machine particulièrement flexible car elle peut être adaptée aux spécifications requises pour une gamme d'applications incluant la gravure au silicium, les métaux gravés, la gravure inverse et la gravure par emboîtement. En outre, Indy Plus prend également en charge divers substrats tels que Si, Ge, quartz, Al et SiC assurant une plus grande flexibilité. Le haut niveau de précision, l'excellente maîtrise des processus et la flexibilité font de TEL Indy Plus un choix idéal pour les utilisateurs de l'industrie aérospatiale, médicale et semi-conductrice. TOKYO ELECTRON INDYPLUS intègre le processus de gravure et d'ashing qui permet d'améliorer le débit, tout en éliminant de nombreuses erreurs liées au fonctionnement manuel. Le coût abordable et le niveau élevé de précision ajoutent encore à son allure.
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