Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293821712 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher pour l'industrie des semi-conducteurs, fournissant une technologie avancée de gravure et d'ashing pour les dispositifs semi-conducteurs. TEL INDYPLUS est conçu pour être très efficace et précis, offrant une résolution de gravure inférieure à 0,5 nm et une précision supérieure à 5 nm. Il a une taille de plaquette unique de 6 pouces ou 8 pouces, et peut traiter des films et des étapes de jusqu'à 450nm. TOKYO ELECTRON INDY PLUS est équipé d'étages transversaux indépendants vers l'avant et vers l'arrière motorisés qui fournissent une grande précision pour l'alignement et une répétabilité améliorée. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS utilise une technologie de gravure unique appelée Volatile Organic Compound-Assisted Graching (VOC-ET) qui est une technologie de gravure avancée développée par TEL. La technologie VOC-ET est capable de traiter le silicium fin et les dispositifs FinFET avec des parois latérales verticales et d'excellents profils de gravure. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS utilise une capacité de compatibilité de mémoire d'extrait, ce qui permet aux utilisateurs de se rappeler facilement les recettes des appareils précédents. TEL INDY PLUS offre également aux utilisateurs la possibilité de personnaliser les recettes de gravure et d'ashing en utilisant le logiciel propriétaire TOKYO ELECTRON. TEL Indy Plus est équipé de plusieurs chambres de processus qui facilitent la gravure et la cueillette simultanément et indépendamment. Les chambres de procédés sont équipées d'un équipement de distribution de mélange gazeux sans fluor, conçu pour minimiser les émissions de procédé tout en maximisant les performances des gravures. TOKYO ELECTRON Indy Plus est également conçu pour un entretien facile et des opérations rentables, avec un système de distribution automatisé des médias et une unité d'échappement refroidie à l'eau. INDYPLUS est également livré avec des capacités d'accès à distance, permettant aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster les paramètres de processus à partir d'un emplacement central. Indy Plus est conçu pour fournir des procédés de gravure et d'ashing cohérents et de haute qualité, tout en répondant aux besoins spécifiques de l'industrie des semi-conducteurs. La machine permet de réduire le temps et le coût associés aux dispositifs et aux tests de fiabilité, ainsi que d'améliorer la capacité de processus pour les nœuds avancés des appareils. TOKYO ELECTRON INDYPLUS est capable de traiter plusieurs substrats et tailles de plaquettes, et est conçu pour répondre aux normes les plus élevées de productivité et de disponibilité.