Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828761 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher conçu pour une variété d'applications et de procédés de semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement de gravure/cendres monobloc à faible empreinte qui fournit des processus de gravure/cendres hétérogènes précis et à haut débit. Le graveur/asher dispose d'une petite chambre de 150 mm qui peut accueillir jusqu'à 100 plaquettes et est capable d'une gamme de processus de gravure/ashing pour divers matériaux. TEL INDYPLUS etcher/asher a une conception de système avancée qui assure la répétabilité précise du processus de gravure des plaquettes ou de l'uniformité de cendrage sur l'ensemble de la plaquette. TOKYO ELECTRON INDY PLUS etcher/asher utilise le plasma à résonance cyclotron électronique (ECR) avec une source de plasma électronique pour assurer une gravure ou un cendrage plasma très uniforme. L'option de source de plasma peut être changée d'ECR en plasma standard à couplage inductif (PIC). De plus, une option avancée de piézo-actionneur et de wafer-spin peut être incluse pour personnaliser davantage le processus pour des besoins spécifiques. Le graveur est équipé d'une unité de protection contre l'accumulation de minéraux de haute qualité, et le contrôle avancé des wafer-spin assure un bombardement ionique très uniforme qui est essentiel pour une gravure/cueillette très uniforme. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS etcher/asher est construit avec une variété de fonctions de surveillance et de contrôle, qui comprennent des réglages de pression, de température et de puissance RF qui sont indépendants du temps de processus. Ceci permet de réaliser un large éventail de procédés tels que la gravure d'oxyde, la nanotexturation, la gravure sélective ou le cendrage. La machine dispose également d'un affichage en temps réel des profils de gravure/cendres pour faciliter la surveillance de l'activité du processus. INDY PLUS etcher/asher est hautement personnalisable et peut être configuré pour répondre aux exigences spécifiques des processus. Le graveur/asher est conçu pour une homogénéité et une répétabilité maximales du procédé et est bien adapté aux opérations de production avec des processus de volume moyen à élevé. L'outil est également compatible avec une gamme de matériaux, ce qui le rend idéal pour de multiples applications de processus.