Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828765 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher avancé utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est un outil avancé conçu pour donner des étapes de gravure et de cueillette précises, répétables et fiables dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est construit avec une puissante source de plasma, le mouvement du bras robotique, et une chambre de verrouillage de charge pour le chargement et le déchargement facile des échantillons. La source de plasma est conçue pour générer un plasma uniforme capable de graver de l'oxyde, du nitrure et du silicium polycristallin. Son bras robotique est capable de manipuler avec précision l'échantillon avec une boucle de rétroaction pour maintenir la précision de placement de l'échantillon. La chambre de serrure de TEL INDYPLUS offre une solution efficace et économique pour le chargement des plaquettes. Il dispose de deux étages refroidis par plaquette échangeable et d'une unité interne de mélange de gaz qui peut fournir des gaz multiples pour des exigences spéciales de gravure/ashing. En outre, TOKYO ELECTRON INDY PLUS dispose d'un système de surveillance à effet de champ de gaz à réponse rapide (FET) qui peut surveiller en permanence les concentrations de gaz pour un contrôle optimal du processus. TEL INDY PLUS est soutenu par des recettes entièrement réalisées qui sont développées pour contrôler et exécuter les étapes de gravure/cueillette. Il dispose également d'un système de gestion des données qui peut surveiller, stocker et archiver toutes les données pour l'analyse future des processus. En outre, Indy Plus prend en charge un large éventail d'outils spécialisés pour améliorer le contrôle des processus. Les outils comprennent une unité de dosage des gaz de serrure, un capteur aval intégré pour le contrôle de la vitesse de dépôt et un générateur de plasma RF. INDYPLUS est un outil très précieux dans la fabrication de semi-conducteurs car il est conçu pour fournir un rendement maximal avec une entrée minimale. Sa conception robuste et son fonctionnement efficace permettent aux clients de produire rapidement des IC de qualité avec de petites empreintes et des rendements élevés. En outre, son interface conviviale et sa polyvalence complète le rendent adapté aux fabs de toutes tailles, de petite à grande taille. TEL Indy Plus est un graveur/asher technologiquement avancé qui peut fournir des solutions de gravure et d'ashing précises pour des applications de fabrication de semi-conducteurs. C'est un outil très précieux dans l'industrie avec sa conception robuste, le chargement efficace, et le contrôle complet des processus et la gestion des données.