Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828767 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293828767
Style Vintage: 2013
Vertical furnace Process: ALD LP 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un équipement de graveur/asher très avancé conçu pour l'enlèvement des matériaux de précision et le dépôt de films diélectriques. Ce système offre un large éventail d'applications, allant de la gravure de base/dopage/dépôt pour les dispositifs semi-conducteurs, à la gravure plasma haut de gamme pour les motifs de lignes de cuivre dans des conceptions d'emballage avancées. TEL INDYPLUS offre à la fois des niveaux élevés de vitesse et de précision, permettant des résultats très reproductibles. Le cœur de la machine TOKYO ELECTRON INDY PLUS est l'écran tactile PC, qui abrite les composants matériels qui composent l'outil d'acquisition et de contrôle de données. Ce PC à écran tactile est équipé d'un logiciel avancé de contrôle des processus qui permet à l'utilisateur de configurer rapidement et facilement des paramètres précis pour l'application en question. Le PC comprend également un certain nombre de fonctions de sécurité, telles que le mode de formation automatisé pour les utilisateurs de niveau expert, la surveillance en temps réel et plus encore. INDYPLUS actif peut être configuré avec une variété d'outils, selon le processus en cours. Deux types de graveurs sont proposés, le graveur Toggle et le graveur latéral. Ces deux systèmes de gravure offrent un certain nombre de mouvements orbitaux et verticaux programmables, permettant un contrôle précis de la vitesse de gravure, de la sélectivité et de l'uniformité. Pour la gravure sèche, TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS modèle offre un contrôleur de débit de gaz avancé, permettant un contrôle de débit rapide et précis pour tous les gaz de gravure, ainsi que l'alarme Annunciator pour la réponse et la rétroaction rapides de l'alarme. De plus, la chambre à plasma est équipée d'un ensemble perfectionné de fonctions pilotées par RF, contrôlant la composition, la concentration, la pression et le débit du gaz afin de fournir des profils de gravure de haute précision. Pour augmenter le débit, l'équipement comprend le chargement et le déchargement automatisés de plaquettes, avec un temps de traitement de plaquettes à plaquettes inférieur à 10 secondes. Pour les applications de dépôt de films, le système Indy Plus offre une variété de sources de dépôt telles que les arcs à vide filtrés, les cathodes de pulvérisation et les sources d'évaporation. Ces sources sont disponibles avec un rendement réglable et conviennent à une grande variété de matériaux, allant des métaux aux matériaux polymériques et organiques. En outre, l'unité de surveillance des sources embarquées permet un contrôle complet et une rétroaction sur le processus de dépôt. La combinaison de matériel performant, de logiciels flexibles et de divers outils puissants fait de TOKYO ELECTRON Indy Plus une solution idéale pour une large gamme d'applications de gravure et de dépôt. Que vous soyez un utilisateur expert ou que vous ayez besoin de capacités de gravure/dopage/dépôt de base, la machine TOKYO ELECTRON INDYPLUS fournit des résultats rapides et reproductibles, tout en permettant un développement et une optimisation complexes des processus.
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