Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828769 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un équipement de graveur et asher largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le traitement avancé des substrats. Le système est capable d'effectuer des processus de gravure tels que la gravure par ions réactifs profonds (DRIE), la gravure sèche et la gravure par plasma. Il est également capable d'aspirer, ce qui est utilisé pour l'élimination de sous-produits et de tout autre matériau indésirable à la surface du substrat. TEL INDYPLUS est un graveur à plasma avancé, conçu pour réduire le temps et les coûts tout en garantissant un processus de gravure de haute qualité et fiable. C'est une machine intégrée qui combine une chambre à vide, un outil de contrôle de gaz, une unité de chauffage de substrat et un générateur de plasma. L'actif se compose de deux parties : TOKYO ELECTRON INDY PLUS etcher et l'Indy Asher, et il est capable de traiter des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS etcher dispose d'une source d'excitation à couplage capacitif de haute précision ; cela permet de produire efficacement un plasma stable et uniforme, ce qui donne des résultats fiables et reproductibles. Le modèle est également équipé d'un processeur de contrôle numérique avancé, permettant un contrôle précis et programmable du processus de gravure, comme la profondeur de gravure, la forme et le profil. L'Indy Asher utilise un procédé de cendrage rapide et fiable, conçu pour éliminer les matériaux organiques, métalliques et inorganiques des substrats. Le cendrier est capable de nettoyer les surfaces rapidement, avec une précision et une répétabilité supérieures aux techniques classiques de cendrage. Il assure une répartition uniforme de la température dans la chambre de plasma, permettant une vitesse de gravure uniforme. L'équipement TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS est équipé d'un certain nombre de caractéristiques qui augmentent l'efficacité du processus et améliorent les résultats du processus de gravure et d'ashing. Il assure un contrôle serré de la pression, du débit de gaz, de la température et de la puissance RF, afin que les utilisateurs puissent optimiser avec précision leurs paramètres de traitement et répéter facilement leurs conditions de réglage. Le système dispose également d'une unité de gestion des gaz pour assurer l'alimentation efficace des gaz utilisés dans le processus de gravure et d'ashing, et d'un écran de surveillance intégré à distance pour la surveillance en temps réel du processus. La machine TEL INDY PLUS est un outil de gravure et de cendrage avancé et fiable, conçu pour fournir aux clients un traitement de substrat de haute précision et reproductible. Il est idéal pour une utilisation dans une gamme d'industries de semi-conducteurs, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats de processus améliorés en une fraction du temps.