Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828773 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs qui est conçu pour une résolution et des résultats supérieurs. TEL INDYPLUS est un graveur/asher à base de Si assisté par plasma de 50 watts qui utilise le gaz de chlore à faible concentration. L'équipement dispose de deux sources d'ions indépendantes, qui sont optimisées pour fournir des processus de gravure supérieurs sur les photorésistes positifs et négatifs. La source de gravure utilise une source d'oxydation thermique rapide, qui est conçue pour éliminer la dérive basse fréquence et fournir un débit plus élevé. En outre, TOKYO ELECTRON INDY PLUS comprend une large gamme de caractéristiques spécifiquement conçues pour relever les défis communs dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, y compris la rugosité des bords, la réduction du bruit, l'uniformité des substrats et la précision dimensionnelle globale. En outre, INDYPLUS utilise un système de contrôle de rétroaction indépendant pour garantir des taux et des paramètres de gravure précis. Cette fonction permet un contrôle précis des motifs, réduisant le besoin d'itérations ou d'étapes de processus supplémentaires, et augmente considérablement la répétabilité des processus. L'unité est équipée d'une fonction de montage de courbe arithmétique avancée, ce qui facilite la création de motifs de gravure traçables et sans soudure pour toute exigence de processus. INDY PLUS utilise un processus PECVD haut de gamme pour créer des couches de couches minces qui adhèrent et protègent le substrat sous-jacent. Ce procédé utilise un réacteur CVD à basse fréquence (LFCVD) amélioré par plasma capable de produire des couches de revêtement de haute qualité avec une couverture d'étape uniforme et une excellente adhérence. Couplé à la machine optique avancée, cela permet la production d'une variété de structures de dispositifs avec des caractéristiques complexes et des tolérances serrées. Cet etcher/asher est également livré avec un ensemble d'outils avancés pour permettre l'expérimentation et la personnalisation des processus de gravure et ashing. En outre, plusieurs pompes peuvent être configurées pour permettre une large gamme de capacités de gravure et de cueillette, y compris la gravure séquentielle et la cueillette à distance. Ces caractéristiques, ainsi que son excellent contrôle du processus et sa répétabilité, font d'Indy Plus une solution de graveur/asher idéale pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.