Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828774 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un équipement semi-automatique, compact graveur/asher conçu pour pouvoir répondre à une variété de besoins de gravure et d'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Il a une vitesse de gravure et de cueillette automatisée allant jusqu'à 40 cycles/h pour des temps de gravure et des temps de cueillette entiers allant jusqu'à 16 minutes, et supporte une variété de substrats dont des plaquettes de silicium, des écrans plats, des couches de métallisation en aluminium et des interconnexions. Le système pèse environ 950 kg, avec une empreinte unitaire globale d'environ 1200 × 1100 mm. Les opérateurs pourront accéder à la machine via un ordinateur qui prend en charge Windows et Linux. L'outil d'exploitation est un logiciel propriétaire développé par TEL. TEL INDYPLUS se compose d'un poste de chargement de cassettes à table ouverte, d'une table de machines, d'une chambre de cendrage, d'une chambre de gravure, de contrôles d'actifs et de panneaux de gaz. La station de chargement de cassettes à table ouverte fonctionne comme un centre de chargement et de déchargement automatisé pour les cassettes qui contiennent jusqu'à 25 substrats. La table de la machine, située directement à droite de la table de la cassette, abrite tous les composants essentiels du modèle. Cela comprend le générateur RF, les panneaux de gaz, les conduites de gaz, les serrures de charge et les pompes à vide. La chambre de gravure est située directement sous la table de la machine. Il dispose d'un équipement automatisé de chargement de cassettes de levage, permettant à l'opérateur de contrôler avec précision la position du substrat pendant la gravure. Il a également deux fournisseurs RF avec des capacités de verrouillage de charge pour améliorer encore les délais de traitement. La section ashing abrite la chambre ashing avec des tubes en quartz dédiés. Le système est capable de cendre rapidement, ce qui aide à minimiser le temps de traitement. Il a également une unité d'échappement arrière efficace qui assure les substrats sont correctement assis. La machine est également équipée d'une variété de dispositifs de sécurité, y compris des capteurs de pression, des moniteurs d'émissions et des systèmes de détection des fuites. En outre, il est compatible avec l'outillage standard de manutention des plaquettes et les accessoires tels que les sondes, les pinces, les gants, les broches et les bateaux à quartz. TOKYO ELECTRON a fait en sorte que l'outil TOKYO ELECTRON INDY PLUS soit extrêmement convivial et efficace, ce qui en fait un choix populaire pour de nombreuses entreprises de semi-conducteurs à travers le monde.