Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828775 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293828775
Style Vintage: 2016
Vertical furnace Process: ALD LP 2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher avancé utilisé dans les procédés de fabrication de plaquettes semi-conductrices. C'est la dernière d'une famille d'appareils de gravure fabriqués par TEL. La machine est capable de gérer un tas de tâches liées à la gravure et à l'ashing pour les plaquettes de 300mm et 200mm. Ses fonctionnalités avancées fournissent des solutions fiables pour les étapes critiques du processus de circuit intégré. La machine est équipée d'une chambre RF en céramique très efficace, offrant une meilleure sélectivité de gravure, précision et uniformité. Il dispose également d'une boîte de serrure et de traitement qui permet de charger la plaquette sur l'équipement sans exposition à l'environnement, assurant ainsi la pureté du matériau. Son système de distribution de gaz de procédé est également relié à un banc humide pour une livraison de gaz efficace et une régulation de la température. Il dispose également d'une caméra haute résolution avec des capacités de capture d'image pour l'inspection des plaquettes afin de prévenir les défauts de processus. La solution TEL INDYPLUS intègre également la technologie DORS (Ozone Removal Unit). La machine filtre le gaz d'ozone indésirable créé par les processus de gravure, ce qui le rend non seulement plus sûr mais aussi plus efficace. Son auto-jauge et son outil de contrôle de la métrologie in situ sont également efficaces pour réduire le temps de cycle de processus ainsi que pour garantir la qualité du produit sur un ensemble de nœuds de technologie de circuits intégrés. L'actif est contrôlé par une interface conviviale, permettant une configuration et une maintenance faciles de la machine. Il peut également être configuré avec un équipement d'automatisation en option, ce qui facilite et simplifie le fonctionnement pour personnaliser les besoins de production. Le modèle fournit des données en temps réel pour les activités de dépannage pour l'optimisation des processus et il est également livré avec un mode de maintenance intuitif, permettant une mise en œuvre rapide des routines de maintenance préventive. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON INDY PLUS est un graveur/asher avancé idéal pour les fabs de semi-conducteurs. Ses caractéristiques de pointe sont conçues pour garantir des résultats de processus fiables avec une pureté maximale des matériaux et une excellente disponibilité du cycle de vie de l'équipement. Le système est facile à entretenir, rentable et est livré avec un certain nombre de fonctionnalités automatisées pour permettre la bonne exécution des processus de production de circuits intégrés.
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