Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9250264 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher haute performance pour avant la lithographie. Il est réalisé pour enlever efficacement des couches d'oxyde des plaquettes semi-conductrices de silicium ou de composé, tout en pouvant également barrer des couches de résistance. TEL INDYPLUS est conçu avec différentes caractéristiques à l'esprit, telles que l'uniformité entre les surfaces supérieure et inférieure des plaquettes, et est capable de contrôler les performances de cendrage sans causer de contamination par les particules. TOKYO ELECTRON INDY PLUS dispose d'une source de plasma double fréquence directe et descendante. Cette conception permet un effet de gravure uniforme sur les surfaces supérieure et inférieure de la plaquette, d'où un meilleur débit et une plus grande précision. Le produit est équipé d'un système avancé de contrôle des processus au niveau des plaquettes, permettant des performances de gravure et de cendrage précises et stables. De plus, il existe un système intégré de surveillance de la pression et de la température dans la chambre de réaction. La chambre de réaction dispose d'un système d'alimentation électrique unique pour différents processus de gravure/cueillette. Cela permet aux utilisateurs de sélectionner la puissance plasmatique désirée à différentes fins de processus telles qu'une couche de gravure ou un film, le nettoyage de surface et l'élimination des résidus. En outre, TEL INDY PLUS dispose de dispositifs de sécurité intégrés pour prévenir les accidents et les décès ainsi que pour réduire les dommages potentiels aux produits. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS est également livré avec un débit de gaz de traitement à basse pression, à faible puissance et contrôlé par le temps. Cela garantit qu'au cours du processus de gravure/cueillette, aucun dommage n'est fait aux plaquettes. Il peut traiter une grande variété de substrats de manière très efficace, sans résidus à la surface. Il dispose également d'un ajustement rapide et stable des paramètres de gravure et d'ashing pour répondre aux besoins de l'utilisateur. En conclusion, Indy Plus est un graveur/asher polyvalent et efficace pour les plaquettes de silicium et de semi-conducteurs composés. Grâce à sa puissante source de plasma, à sa conception descendante directe et à ses caractéristiques de sécurité intégrées, il peut fournir des résultats cohérents et uniformes avec un haut degré de précision.