Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9254679 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus etcher est une technologie de cendrier de pointe conçue pour diverses techniques de traitement des substrats, y compris la gravure par plasma, la gravure à sec, le cendrage et le broyage ionique. L'équipement utilise une combinaison de commande de mouvement de haute précision et de puissance RF pour fournir des résultats de gravure supérieurs dans un large éventail d'applications et de matériaux de gravure. Il est configuré avec plusieurs chambres de processus pour diverses techniques de vide et capable de manipuler de grands substrats jusqu'à 300mm de taille. Le système dispose d'un contrôle précis de la température de la plaquette, de la puissance RF, de la pression du gaz, des débits de gaz et de la pression de gravure. Cela garantit une excellente qualité et un profil de gravure uniforme. L'unité utilise un mécanisme monobloc unique combiné à des commandes de pression et de débit de gaz, ce qui la rend idéale pour les travaux de gravure sensibles et à haute résolution. Sa configuration efficace de débit de gaz assure une couverture de gravure uniforme et des zones isolées pour une répétabilité élevée. La machine offre une très faible tolérance au débit et une meilleure uniformité de procédé par rapport aux autres systèmes de gravure et peut graver des films épais et minces, permettant une définition fine et une gravure de niveau. Un obturateur intégré assure également un contrôle maximal des processus, ce qui le rend adapté aux applications sensibles. En outre, TEL INDYPLUS etcher est extrêmement flexible, fournissant un ensemble complet de fonctionnalités pour optimiser les processus de gravure sur une large gamme de profils de gravure. Il offre un large éventail de technologies de procédé sous vide, y compris la gravure à chambre unique et multi-chambre, et permet des changements dans l'adresse du mélange gazeux pendant le processus de gravure. TOKYO ELECTRON INDY PLUS etcher outil est également très efficace, permettant un débit plus rapide et un retournement plus rapide pour les travaux de traitement de substrat. Ses performances élevées le rendent idéal pour les opérations de production à court terme ou le travail de prototypage. Sa conception modulaire permet aux graveurs d'échanger des chambres de processus sans perturber la position d'autres composants de processus, fournissant une configuration efficace pour les processus de production. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Indy Plus est un actif de gravure très avancé offrant un contrôle très précis des paramètres de gravure, pour fournir des résultats de gravure de qualité sur une variété de matériaux de substrat. Avec ses performances fiables, son large éventail de technologies de procédé et son contrôle efficace, TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS etcher est un choix idéal pour les applications de gravure.