Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9261886 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un appareil de gravure à sec industriel de pointe, conçu pour offrir des performances supérieures en précision de gravure, débit et coût de possession. Le système est destiné aux vias profonds, au remplissage des tranchées et à la gravure latérale des matrices semi-conductrices et autres dispositifs. Il dispose d'une conception de chambre avancée, qui permet une technologie plasma avancée et une répétabilité de processus supérieure. L'unité est capable de supporter un large éventail de fenêtres de processus, y compris : oxyde, poly-Si, nitrure, parylène/pary, pulvérisation et dépôt chimique en phase vapeur. La chambre de microfabrication est entièrement automatisée, avec des commandes à écran tactile haute technologie multi-niveaux et une machine de programmation de recette intégrée. TEL INDYPLUS est construit sur la technologie la plus récente, y compris une chambre haute résolution, haute pression, support de substrat de plaquettes à haute température, et un four de traitement thermique avancé. Il dispose également d'un outil de distribution de gaz en boucle fermée qui aide à promouvoir des processus de gravure propres et cohérents. Le profileur laser (LBPP) permet une gravure très précise, avec un contrôle précis et uniforme de la profondeur à travers la surface. TOKYO ELECTRON INDY PLUS utilise également des systèmes avancés de réflectomètre optique (ORP) et d'optimisation (OQP), qui fournissent aux utilisateurs des informations détaillées sur la qualité du processus de gravure. En outre, TEL INDY PLUS modèle dispose également d'un équipement de diagnostic intégré, qui aide à identifier les erreurs du système en temps réel. Cette unité de diagnostic aide les opérateurs et les ingénieurs à identifier rapidement et avec précision les problèmes de processus. Les performances de la machine INDYPLUS fournissent le niveau ultime de précision et de précision, permettant des résultats de gravure précis et reproductibles. Il est l'outil parfait pour la gravure à couche unique et multicouche, et est l'atout de gravure idéal pour les clients qui ont besoin d'une précision et d'une cohérence de pointe dans l'industrie.