Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9315271 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. C'est une plate-forme de gravure avancée basée sur une plate-forme de module de processus qui contient plusieurs chambres et un système de transport de plaquettes. TEL INDYPLUS modèle peut être utilisé comme asher et graveur et peut être utilisé avec différents paramètres pour répondre aux différents besoins de traitement de précision de gravure pour les dispositifs semi-conducteurs. TOKYO ELECTRON INDY PLUS offre un traitement à haut débit de 100 mm avec mise à feu thermique à 850℃ avec des sorties allant de 50-350W. Ceci permet une utilisation optimale pour la production de substrat à la température désirée. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS a également une uniformité de substrat cible de +/-43,5 nm sur la surface. Il dispose d'un dispositif automatisé d'interception et de sécurité, y compris un capteur optique qui surveille la température de la plaquette, un moniteur de fond haute résolution et un garde-blindage pour protéger le personnel contre les radiations potentielles et d'autres dangers. TOKYO ELECTRON Indy Plus utilise la technologie de gravure CVD. Cette technologie est utilisée pour graver des couches minces de silicium, d'oxyde, de nitrure et d'autres matériaux. Il est capable de produire des tranchées de haute résolution, profondes et uniformes avec un seul masque et des résultats répétables d'une plaquette à l'autre. TEL INDY PLUS a plusieurs processus spécialisés. Il est capable de capturer des profils de particules avec des processus de nettoyage monodispersifs, d'améliorer les résultats de la lithographie avec des processus d'amélioration du plasma et de recuit des surfaces pour réduire les dommages de gravure. INDY PLUS offre également un système de distribution de gaz qui permet une installation rapide des processus et des processus de gravure stables. TEL Indy Plus peut gérer différentes tailles et types de plaquettes. Il est capable de traiter des substrats jusqu'à 200mm de diamètre et un poids maximum de la plaquette de 1.5kg. Il est également capable de manipuler des substrats sensibles et coûteux tels que des plaquettes de saphir et d'oxyde. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS dispose également d'un étage de graphite et d'un mandrin pour réduire la variation de température, d'un support basse fuite, basse pression et d'un générateur RF pour le contrôle des processus. INDYPLUS possède d'excellentes capacités de qualité de processus. Il a des caractéristiques telles que la commande de fréquence de contournement, la commande de fréquence de limitation, et une fonction oscilloscope. Il offre également une gamme de configurations de sources lumineuses pour améliorer l'imagerie, ainsi qu'un logiciel de vision sophistiqué qui détecte les variations de largeur de ligne, les variations de vitesse de gravure et la contamination. Indy Plus etcher/asher est un processeur de gravure puissant et avancé pour le traitement des gravures de précision des dispositifs semi-conducteurs. Il peut fournir une gravure rapide et fiable des substrats les plus délicats et les plus difficiles. TOKYO ELECTRON INDYPLUS est idéal pour les procédés de gravure tels que le silicium, l'oxyde, le nitrure, le HF, le CF et le photorésist. Il a une gamme de caractéristiques telles que débit élevé, gravure haute résolution et uniformité, diverses tailles et types de substrat, un système de distribution de gaz, et un logiciel de vision sophistiqué pour l'amélioration de l'imagerie.