Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9358355 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher qui est souvent utilisé pour les processus de gravure humide et sèche. TEL INDYPLUS est un équipement 3 zones avec deux chambres de traitement et une chambre de transfert, chaque chambre de traitement ayant une source de plasma indépendante et un obturateur évacuable. TOKYO ELECTRON INDY PLUS est bien adapté pour la recherche et les paramètres industriels, et peut être utilisé pour traiter des substrats jusqu'à 200 mm de taille. Le système de contrôle des procédés de TOKYO ELECTRON INDYPLUS permet de configurer et de changer facilement les recettes de gravure. L'unité est compatible avec de nombreux gaz différents, permettant une variété de processus de gravure, y compris la gravure humide, la gravure ionique réactive (RIE), la gravure métallique, la gravure de la couche interne et la gravure de la face arrière de la plaquette. Le processus de gravure peut également être personnalisé pour créer des conditions de processus personnalisées, telles que la pression de la chambre, la puissance du plasma, le temps du processus et le débit de gaz. Indy Plus dispose également d'obturateurs programmables, permettant aux utilisateurs de corréler les substrats aux conditions de gravure. Ceci permet aux utilisateurs d'optimiser le procédé de gravure en fonction des caractéristiques du substrat, telles que permittivité, épaisseur, type de matériaux, etc. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS dispose d'un régulateur de température permettant de maintenir la température pendant le processus de gravure. Cela permet un contrôle précis de la température du procédé, contribuant à assurer des résultats de gravure cohérents, minimisant les variations dans les matériaux. TEL Indy Plus est bien équipé pour la compatibilité et la surveillance des processus. La machine est compatible avec le contrôleur TEL TEM, qui assure la surveillance en cours de processus de la qualité de gravure, comme le taux de gravure. En outre, INDY PLUS supporte des protocoles de transfert de plaquettes, qui permettent le transfert de substrats à l'extérieur de la chambre pour l'analyse post-gravure. Enfin, INDYPLUS est conçu pour la sécurité, avec un bouton d'arrêt d'urgence à distance ainsi qu'un obturateur étanche. TEL INDY PLUS est un graveur/asher avancé qui offre des résultats de gravure fiables, le contrôle des processus et la surveillance des processus. Sa polyvalence en fait un outil précieux pour de nombreuses applications de recherche et de l'industrie, de la gravure humide à Wafer Backside Etching et plus encore. Avec ses caractéristiques de sécurité avancées, TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS est une centrale d'un outil pour ceux qui cherchent à graver avec précision et fiabilité.