Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375630 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher innovant pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs qui est conçu pour être très précis et précis. L'équipement utilise le contrôle avancé des données, le transfert automatique d'échantillons et la monétisation en temps réel de tous les processus de gravure et/ou de cueillette. TEL INDYPLUS est capable de traiter une plaquette et un lot, avec un débit allant jusqu'à 1000 plaquettes par heure. TOKYO ELECTRON INDY PLUS offre un environnement thermique très contrôlé avec un contrôle précis de la température (50 ° C à 500 ° C) et une excellente uniformité sur toute la surface de la chambre de gravure/cueillette. Le système offre également un contrôle de livraison chimique, avec une livraison précise des gaz réactifs et des produits chimiques de gravure/cueillette. Cela garantit une uniformité et une répétabilité maximales des résultats. INDYPLUS est équipé d'une source d'énergie spéciale qui permet des réglages très précis du profil énergétique des ions utilisés pour la gravure et/ou l'ashing. Cela permet un meilleur contrôle du processus de gravure/cendrage, avec un meilleur réglage entre le temps de gravure/cendres, l'anisotropie et le roulage de profil. Cette caractéristique permet un meilleur contrôle du processus de gravure/cueillette, offrant une plus grande précision et répétabilité. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS comprend une station de rotation automatisée pour assurer une rotation précise de la plaquette pour une gravure/cueillette uniforme sur l'ensemble de la plaquette. L'unité utilise également une chambre de transfert de serrure automatisée pour un transfert d'échantillons efficace. Cela élimine la nécessité d'opérations manuelles de chargement et de déchargement des échantillons et garantit que le processus de gravure/cueillette souhaité est réalisé sur chaque échantillon. INDY PLUS est très convivial. Il est équipé d'une interface utilisateur graphique LCD pleine couleur, permettant la création de programme facile et la modification des paramètres de gravure/ashing. Cela permet une configuration et un fonctionnement rapides et faciles pour le traitement monobloc et par lots. Enfin, Indy Plus est soutenu par des services d'assistance à la clientèle de qualité. La machine est entièrement supportée et soutenue par une grande équipe de techniciens de service expérimentés, qui peuvent fournir un soutien immédiat en cas de problème. TEL offre également des programmes complets de formation et de certification, fournissant le soutien nécessaire pour utiliser au mieux leur outil pour obtenir des résultats optimaux.