Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9377463 à vendre en France
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ID: 9377463
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Furnace, 12"
Process: ALD
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher spécialisé dans les ébauches de photomasques EUV. Il est utilisé pour graver et emballer avec précision des ébauches de photomasques EUV dans des pellicules EUV prêtes pour la lithographie. L'appareil dispose d'une gamme de fonctionnalités avancées pour maximiser la qualité et l'efficacité de gravure et d'emballage. Pour commencer, TEL INDYPLUS est équipé d'un équipement d'alignement optique multi-faisceaux. Cette technologie de pointe permet de placer exactement les flans de photomasque sur le pellicule avec précision. En outre, le système est capable de générer des données d'alignement individuelles pour chaque flan, permettant à l'etcher d'obtenir un alignement extrêmement précis pour plusieurs couvertures. TOKYO ELECTRON INDY PLUS dispose également d'une chambre de gravure plasma haute pression, basse pression et basse tension. Cette chambre est capable de produire des vitesses de gravure ultra-élevées avec une charge minimale dans le temps. Grâce à son procédé avancé, TOKYO ELECTRON INDYPLUS peut obtenir des résultats de gravure très cohérents, même en effectuant un processus à basse gravité ou à basse température. Enfin, TOKYO ELECTRON Indy Plus intègre une technologie spécialisée d'emballage de pellicules EUV. Cette technologie assure un empaquetage et un positionnement précis des masques sur la pellicule, ce qui conduit à un empaquetage extrêmement uniforme et précis des flans. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS peut également être équipé d'une unité d'emballage et d'alignement automatisés pour l'emballage automatisé d'un grand nombre de masques. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS etcher/asher de TEL est un appareil très avancé qui est capable de générer des flans de photomasques EUV de haute qualité qui sont précisément alignés et emballés sur des pellicules EUV. L'appareil est équipé d'une machine d'alignement optique multi-faisceaux, d'une puissante chambre de gravure à plasma et d'une technologie spécialisée d'emballage de pellicules EUV. Toutes ces caractéristiques se combinent pour offrir une expérience de gravure et d'emballage unique et avancée.
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