Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9384128 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un outil de gravure avancé développé pour des besoins de traitement de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Il peut être utilisé pour la gravure, le cendrage et la planarisation de couches avec un degré élevé de précision et de répétabilité. L'outil comprend une conception de chambre multi-zones pour une uniformité de travail supérieure. Il y a sept zones distinctes, capables chacune de résister à des pressions, des températures et des compositions différentes pour fournir un résultat uniforme au cours du processus de gravure. Il est capable de graver à travers une variété de matériaux tels que des films d'oxyde, des métaux, du silicium polycristallin, de la résistance, et plus encore. TEL INDYPLUS est également équipé d'une technologie avancée de gravure au gaz qui améliore l'uniformité et la fiabilité du processus de gravure. Ce procédé de gravure de gaz manipule le flux de gaz pour améliorer l'uniformité du profil de gravure qui augmente le débit, et améliore la profondeur de gravure des tranchées peu profondes et d'autres caractéristiques. TOKYO ELECTRON INDY PLUS offre également une large gamme de recettes de gravure, le coût de possession étant maintenu bas en raison de sa grande fiabilité et durabilité. L'unité de contrôle logique programmable assure un contrôle précis du processus et garantit la convivialité de l'outil. Le contrôleur est conçu pour être facilement intégré aux systèmes MIS existants, car il est compatible avec une variété de protocoles de communication. Une interface externe d'ordinateur à distance est disponible, qui permet aux utilisateurs de surveiller le processus de gravure au moyen d'une interface Web. Les utilisateurs peuvent également accéder à un serveur Web sécurisé pour la gestion et l'analyse des processus. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir des données de gravure importantes pour analyser et comprendre la capacité de traitement pour améliorer l'optimisation des processus. L'outil utilise une technologie d'anneau de bord pour augmenter le débit des graveurs et réduire le temps de cycle de processus. Ceci fonctionne en utilisant un oxyde d'aluminium recuit pour former une liaison cylindrique entre l'électrode, le diélectrique et le métal. L'anneau de bord en oxyde d'aluminium recuit est étanche aux gaz de gravure et résiste à la gravure, ce qui permet un meilleur contrôle des bords et des gravures plus profondes. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS est également livré avec une technologie de pointe pour analyser et traiter de grandes structures complexes. Cette technologie permet aux utilisateurs de graver plus précisément avec une meilleure uniformité et un meilleur contrôle sur le processus de gravure. L'outil est compatible avec la maintenance, et il offre la dernière technologie de pointe pour la gravure de précision.