Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9388215 à vendre en France
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ID: 9388215
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Furnace, 12"
Process: ALD High-K
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un équipement de pointe conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'une machine à graver-ascher, également connue sous le nom de dispositif de polissage chimique-mécanique (CMP), conçue pour permettre aux ingénieurs semi-conducteurs de créer et de développer des dispositifs microélectroniques à la pointe de l'industrie. TEL INDYPLUS dispose d'une architecture de machine de précision à six axes, haute vitesse, et est évolutive pour augmenter le débit afin de répondre à des défis spécifiques. Il utilise une conception modulaire avec des capacités de processus avancées et des paramètres personnalisables pour atteindre les performances souhaitées. Il peut également être configuré avec des composants de processus spécifiques, permettant aux ingénieurs d'adapter le système à leurs besoins spécifiques. TOKYO ELECTRON INDY PLUS offre une unité de commande AS avancée, permettant un réglage très fin des processus. Cela comprend une machine de contrôle automatisé (également connu sous le nom d'outil ATF) pour fournir une plus grande contrôlabilité et flexibilité dans le processus. L'actif dispose également d'un modèle d'analyse de capteurs haute performance qui peut détecter et enregistrer divers paramètres des processus de gravure et de polissage. TOKYO ELECTRON INDYPLUS offre une production à haut volume avec un temps d'arrêt minimal en raison de son programme de refroidissement avancé. Avec ce système, les ingénieurs peuvent automatiser le processus et réduire l'intervention manuelle, améliorer la productivité et augmenter les rendements. TEL INDY PLUS dispose également de capacités de métrologie avancées, permettant une surveillance précise et répétable des processus. Des méthodes de métrologie avancées telles que la microscopie électronique secondaire à haute résolution (SEM) et l'EDX (modèle) peuvent être utilisées pour surveiller les résultats des gravures. Dans l'ensemble, Indy Plus est une unité de graveur/ascher qui fournit aux ingénieurs des procédés très précis et fiables pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Sa conception modulaire et ses composants personnalisables permettent aux utilisateurs d'adapter la machine à leurs besoins spécifiques. L'outil de contrôle des processus très avancé, le contrôle automatisé des actifs, le programme de refroidissement et les fonctions de métrologie avancées fournissent des résultats précis et reproductibles, faisant de TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS l'un des systèmes de graveur/ascher les plus polyvalents du marché.
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