Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9389742 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur conçu pour la photolithographie et les procédés de gravure dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce matériel de gravure de pointe est idéal pour la production à haut volume d'appareils IC. Il offre des motifs de haute précision avec une gamme de tailles de fonctionnalités à plusieurs microns de taille. Avec son haut niveau de précision et de répétabilité, ce système offre un moyen rentable de graver et de modeler des composants sophistiqués et complexes. TEL INDYPLUS est capable de graver un large éventail de matériaux, y compris le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et d'autres matériaux utilisés dans la fabrication d'IC. Il peut également une variété de caractéristiques de submicron à cinq microns dans la taille. En outre, l'unité dispose d'une large gamme de paramètres personnalisables, permettant aux utilisateurs d'affiner le processus de gravure pour obtenir des résultats optimaux pour chaque application. Les composants principaux de la machine comprennent trois éléments essentiels : le graveur/asher, l'outil de distribution de gaz et les unités de pompage. Le graveur/asher est le dispositif utilisé pour graver les motifs dans le matériau désiré. Un graveur/asher élimine le matériau par dissociation et se combine avec de l'hydrogène gazeux pour former un mélange chimique, qui est ensuite chauffé dans l'graveur/asher pour accélérer le processus de gravure. L'actif de livraison de gaz est chargé d'alimenter le graveur/asher avec le gaz désiré. Il assure également que le gaz est dans la concentration optimale pour le résultat de gravure optimal. L'unité de pompe est utilisée pour créer un modèle étanche, permettant de mesurer et de contrôler avec précision les gaz avant d'être livré à l'etcher/asher. TOKYO ELECTRON INDY PLUS est idéal pour la photolithographie et les processus de gravure dans l'industrie des semi-conducteurs, car il s'agit d'un équipement hautement capable et rentable. Avec ses commandes sophistiquées et ses résultats de gravure précis, il peut être utilisé pour fabriquer une grande variété de composants sophistiqués avec des performances optimales.
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