Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293627658 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un équipement de graveur/asher fabriqué par TEL qui est conçu pour des processus de gravure de haute vitesse de production et de précision dans les industries des semi-conducteurs, des MEMS et des nanotechnologies. Le système permet la gravure de caractéristiques critiques avec une grande précision et est équipé de fonctions de contrôle automatisé des processus pour améliorer la stabilité et la fiabilité. TEL Indy Asher a une conception de chambre de processus à double mode, avec distribution de gaz supérieure et inférieure pour une flexibilité optimale du procédé. La chambre de procédé supérieure est utilisée pour le processus de dépôt et est équipée d'un générateur RF, d'une buse de douche et d'une bobine chauffée. La chambre inférieure est utilisée pour la gravure et est équipée d'un générateur RF et d'une buse de douche. Cela permet de contrôler et de surveiller simultanément les dépôts et les gravures, améliorant ainsi la répétabilité et la reproductibilité des procédés. TOKYO ELECTRON Indy Asher peut manipuler des tailles de plaquettes de 200mm et 300mm, ainsi que des tailles spéciales telles que 4 « ou 8 ». L'unité est également équipée de chambres de contrôle de charge intelligentes qui peuvent maintenir des conditions de processus stables et réduire la production de particules. Il fournit également un support pour les processus de gravure linéaire et non linéaire. La machine Indy Asher est équipée de systèmes de commande de mouvement de haute précision tels que l'étage haute vitesse, l'autofocus et l'étage rotatif XYZ pour un positionnement précis. Une gamme de fonctions automatisées de contrôle de la recette de processus aident à augmenter le débit de processus et à améliorer la qualité du produit. Il dispose également d'un panneau tactile pour la surveillance et le contrôle des processus ainsi que d'un outil de stockage de données avancé pour la recherche d'emploi et les dossiers de production. Pour garantir la sécurité et la répétabilité des processus, TEL/TOKYO ELECTRON Indy Asher est équipé de diagnostics de processus et de défauts, de systèmes de contrôle de température et de contrôle de processus wafer-by-wafer. L'actif est également compatible avec une gamme de différents gaz, y compris NF3, CF4 et NH4ClF pour permettre la gravure multicouche et le dépôt. Dans l'ensemble, TEL Indy Asher est conçu pour fournir des capacités de processus sophistiquées, des processus de gravure précis et répétables et un contrôle fiable des processus. Il est parfait pour les applications avancées MEMS, semi-conducteurs et nanotechnologies qui nécessitent une gravure de précision.