Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293654427 à vendre en France
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ID: 293654427
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Furnace, 12"
Process: ALD-SiN
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un équipement graveur/asher de nouvelle génération qui fournit aux utilisateurs précision, précision et fiabilité lors de la gravure ou de la cueillette des substrats. Cet outil puissant est équipé de la technologie la plus récente de TEL pour garantir le plus haut niveau de performance lors des processus de gravure/ashing. TEL Indy permet des processus de gravure par voie humide et sèche, ainsi que des processus de cendrage et de photochimie. Cette flexibilité accrue du procédé permet aux utilisateurs d'obtenir la définition précise de gravure/cendrage dont ils ont besoin pour leur substrat. TOKYO ELECTRON Indy est conçu avec une conception de serrure à double charge qui permet le chargement et le déchargement simultanés de substrats pour un traitement plus rapide. En outre, Indy offre un système breveté de transport de plaquettes « lift-down » pour l'enlèvement et le chargement sécurisés des substrats. Cette fonctionnalité réduit les rayures et fournit une meilleure précision de processus. TEL/TOKYO ELECTRON La robuste pompe à turbo à vide à 3 étages Indy avec support sans huile et haut débit est inestimable pour des processus innovants qui nécessitent des vitesses de traitement rapides avec des dommages minimes au substrat. TEL Indy dispose d'une conception de chambre 3 zones pour un contrôle précis de la température et un traitement uniforme. Les contrôleurs de mouvement de haute précision offrent un niveau élevé de précision et de répétabilité pour les processus de gravure/cueillette à nano-échelle. TOKYO ELECTRON Indy offre également une gamme de fonctionnalités d'automatisation avancées, y compris l'accès à distance pour le support et la maintenance, les capacités de traitement multi-réseaux, et le logiciel pour le fonctionnement entièrement automatique de l'unité. Enfin, Indy est la seule machine de graveur/asher avec une fonction de sécurité intégrée. Le cadre en acier renferme l'ensemble de l'outil et minimise les risques potentiels du dispositif. TEL/TOKYO ELECTRON Indy dispose également de capteurs qui surveillent les fuites potentielles de gaz et arrêtent l'actif en cas de conditions dangereuses. En conclusion, TEL Indy est le choix idéal pour graver et aspirer des substrats qui nécessitent des niveaux élevés de précision, de précision et de fiabilité. Grâce à sa conception de serrure à double charge, sa chambre à 3 zones, ses contrôleurs de mouvement de haute précision et ses fonctions de sécurité avancées, TOKYO ELECTRON Indy offre les meilleurs résultats de gravure et d'ashing dans l'industrie.
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