Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293751273 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher entièrement automatisé conçu pour un traitement économique et de haute précision. Cet équipement est utilisé pour une gamme de traitements dans l'industrie des semi-conducteurs, y compris la résistance à la cendre, la gravure au nitrure, la gravure à l'oxyde, la poly gravure, la gravure métallique et la gravure sélective. TEL Indy est conçu pour offrir une performance, une précision et une fiabilité optimales pour une gamme d'exigences de processus. TOKYO ELECTRON Indy peut accueillir jusqu'à 4 chambres de processus et peut accueillir des couches métalliques et diélectriques. Cela le rend adapté à une variété d'exigences de procédé, y compris la gravure de quartz, la bande de faible résistance, le nettoyage de substrat et la gravure diélectrique. Cet équipement offre également un choix de sources d'énergie plasma, y compris les sources RF, PECVD et ICP. Le module d'interface d'Indy dispose de panneaux faciles à utiliser qui permettent une gamme de paramètres de fonctionnement et d'alarmes. Un système intégré de contrôle de l'environnement en salle blanche aide à protéger l'équipement contre les contaminants. Avec des techniques telles que la gravure ionique réactive profonde (DRIE), TEL/TOKYO ELECTRON Indy peut graver avec des tailles de caractéristiques plus fines que celles obtenues avec les méthodes de gravure traditionnelles. TEL Indy est livré avec une unité de gestion intégrée des recettes, qui permet de stocker plusieurs recettes pour la répétabilité des processus. La machine automatisée de manutention des plaquettes est également conçue pour un fonctionnement facile et offre une protection contre la contamination des particules. TOKYO ELECTRON Indy offre un haut niveau de performance et de fiabilité à un coût abordable. Il s'agit d'un choix idéal pour la gravure de précision dans la recherche et la gravure de semi-conducteurs. Il est également idéal pour résister aux applications de cendrage, de poly gravure et de gravure par voie humide/plasma. Indy est une solution très efficace, économique et fiable pour les besoins de gravure de précision de l'industrie des semi-conducteurs.