Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293754737 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy (ci-après dénommé TEL Indy) est un graveur/asher haut de gamme à haut débit capable de graver des oxydes, de graver du silicium polycristallin et de couler des plaquettes. TOKYO ELECTRON Indy est construit à l'aide d'une chambre supérieure de table 3 axes alimentée localement et d'un équipement de commande leader dans l'industrie. La chambre est fabriquée en acier inoxydable de grade 316 et est revêtue d'une feuille de céramique au fond et sur les côtés pour assurer une isolation maximale contre les effets thermiques. A l'intérieur de la chambre, le substrat est supporté par un suscepteur de quartz électro-poli spécialisé équipé d'une plaque chaude et de trois électrodes pour l'application efficace d'une gravure plasma. Indy dispose d'un large éventail de fonctionnalités opérationnelles qui aident à rationaliser ses processus et fournissent une solution complète. Le système dispose d'un loadlock ultra-rapide pour une manutention efficace du matériel. Une unité de distribution de gaz sophistiquée permet un contrôle complet des débits, de la pression, de la température et de la composition. De plus, une machine polyvalente de gestion des recettes peut enregistrer jusqu'à 20 paramètres pour garantir des résultats cohérents et reproductibles. La conception très efficace des sources de plasma de l'outil offre une faible consommation d'énergie, un faible coût de fonctionnement et une longue durée de vie. Pour ce faire, on utilise une source de magnétron CW optimisée couplée à une technologie de capteur de pointe. Ceci assure un fonctionnement fiable tout en réduisant le rejet défectueux du substrat. TEL/TOKYO ELECTRON Indy dispose également d'un outil de surveillance avancé avec contrôle de processus en temps réel. Cela garantit que le modèle peut suivre et optimiser l'ensemble du processus pour assurer des résultats optimaux. De plus, le contrôle de la température en temps réel aide à maintenir les températures cibles et permet une gravure répétable quelle que soit la température de départ. L'équipement intègre une conception ergonomique qui permet un fonctionnement facile. Il dispose d'une interface utilisateur optimisée avec un affichage intuitif et un panneau de contrôle simplifié. TEL Indy prend également en charge diverses fonctions d'analyse et d'exploitation des données pour répondre à des exigences élevées en matière de contrôle statistique des processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Indy etcher/asher offre des performances exceptionnelles et des résultats fiables dans la gravure d'oxyde, la gravure de silicium polycristallin et la cendre de wafer. Ses caractéristiques avancées et son design innovant lui permettent de rester constamment à la pointe des processus impliquant ces matériaux.