Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293824557 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher avancé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre une spécialisation avancée pour les processus de gravure et de cendrage à haut rapport d'aspect. Pour la gravure de précision et le cendrage, TEL INDY est équipé de trois sources de gravure/cendrage indépendantes qui peuvent être contrôlées séparément, ainsi que la navigation interférométrique laser étape, fournissant une plus grande répétabilité et des résultats de fabrication améliorés. TOKYO ELECTRON Indy a une pression de processus maximale de 10Torr, une puissance maximale de 2MHz RF, et une unité de commande d'impédance numérique pour faciliter le contrôle précis des potentiels de polarisation. Indy offre également une flexibilité supérieure avec sa large gamme de configurations d'outillage et sa capacité innovante de contrôle d'orientation. Cela permet un meilleur contrôle des applications de gravure ou d'ashing sur un large éventail de formes, de tailles et de matériaux. TEL/TOKYO ELECTRON Indy est compatible avec une variété de gaz de procédé et de substrats, améliorant encore sa capacité à répondre à des exigences de gravure/ashing difficiles. De plus, la conception de chambres à processus multiples de TEL INDY optimise la séparation entre les différents processus, permettant un débit plus élevé et un temps de disponibilité de l'outil plus long. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher avancé et hautement spécialisé qui offre des performances optimales pour une variété d'applications de gravure et d'ashing.