Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9121067 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher avancé qui offre des performances de traitement optimales, un débit élevé et une excellente uniformité avec de larges gammes de processus, permettant une production de haute qualité et fiable. Ce dispositif offre une plate-forme réglable, entièrement automatisée et un large choix de processus de gravure, d'ajout et de décapage - y compris les processus RIE, CVD et Sputter - le rendant idéal pour toute exigence de processus. Il est équipé d'un équipement de contrôle PLC avancé et personnalisable pour contrôler les flux de travail, assurant un fonctionnement stable avec la maintenance automatisée du système et des fonctions préventives. TEL Indy est également conçu pour une plus grande commodité et flexibilité de fonctionnement, avec des paramètres faciles à ajuster, des réglages automatiques de l'état du processus et des capacités de télémanipulation faciles à utiliser. TOKYO ELECTRON Indy dispose d'une unité de gravure/asher haute performance, avec une vitesse de gravure maximale de 40 μ m/min, une résolution spatiale de 5 μ m, et une gamme de processus allant de 30kHz à 10GHz. En outre, son temps de réponse rapide permet d'atteindre un débit élevé, avec un taux de replay ligne par ligne amélioré de 7MHz. Cette machine a également la capacité d'effectuer des gravures et des cendres multidirectionnelles, avec une capacité de surveillance 4 directions, ce qui la rend bien adaptée à la production de motifs fins et de petites caractéristiques. En outre, Indy dispose de dispositifs de sécurité avancés, y compris des systèmes d'évitement des risques, prévenir les erreurs et aider à réduire les risques. Cet outil est conforme aux normes de sécurité environnementale telles que SEMI S2, et est compatible avec plusieurs systèmes de distribution de gaz. TEL/TOKYO ELECTRON Indy a été créé avec un apprentissage machine avancé, lui donnant une capacité extraordinaire de répétabilité de processus et de flexibilité de production, tout en minimisant les temps d'arrêt et de maintenance. Sa haute performance lui permet de fournir des solutions de production efficaces et fiables pour une variété de processus de recherche et de production, et sa grande précision le rend adapté pour des applications dans la fabrication de semi-conducteurs, de MEMS et de dispositifs IC.