Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9137330 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher conçu pour des procédés avancés tels que la gravure anisotrope à haut rapport d'aspect. Le graveur/asher dispose d'un générateur RF haute vitesse, d'une grande puissance, d'un bombardement ionique faible et d'un haut degré de contrôle. Il est capable de procédures de gravure complexes et de haute précision sur divers matériaux tels que le silicium, l'acier inoxydable, le cuivre et le verre, ainsi que d'un large éventail de paramètres de processus, tels que la taille des plaquettes, la vitesse de gravure et la sélectivité. TEL Indy offre également d'excellentes caractéristiques de dépôt de film. Un système de pompage turbomoléculaire avancé assure des capacités de processus maximales, et un volume de chambre généreux combiné avec les composants internes avancés peut traiter simultanément plusieurs substrats avec de grands rapports d'aspect. Sa conception propre fournit une large gamme de paramètres de processus, et peut être configuré pour répondre à différentes applications. TOKYO ELECTRON Indy se caractérise par son plasma uniforme et sa capacité à graver de petites largeurs et des rapports d'aspect élevés. Il convient à la gravure de films minces tels que le nano-tissage, la gravure de tranchées, et pour les procédés monobloc et multi-plaquettes. Indy peut atteindre un taux de gravure significativement plus élevé que d'autres technologies, et est conçu pour fournir un haut degré de contrôle de processus et de flexibilité. Ses composants durables minimisent les temps d'entretien et d'arrêt pour maintenir un débit élevé. TEL/TOKYO ELECTRON Indy offre également une large gamme de fonctions de post-traitement, telles que la surveillance de la percée de l'oxygène ou de l'azote, les systèmes d'analyse ionique et la surveillance des caméras CCD, ainsi qu'une variété d'options pour la détection du point final. En outre, un système de diagnostic haute performance est disponible pour permettre une analyse rapide des défauts. En conclusion, TEL Indy est un excellent graveur/asher conçu pour des procédés avancés tels que la gravure anisotrope à haut rapport d'aspect. Il offre un large éventail de paramètres de processus, de fonctionnalités de post-traitement et d'outils d'analyse des défauts, et ses composants durables minimisent les temps de maintenance et d'arrêt pour maintenir un débit et une productivité élevés.