Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9141006 à vendre en France
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ID: 9141006
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Vertical PCVD furnaces, 12"
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un équipement de gravure haute résolution qui maximise la production et le débit de votre processus de production de semi-conducteurs. Le système est conçu pour fonctionner avec la plupart des types de substrats en vrac et de qualité d'appareil, tels que le silicium, le verre et l'acier inoxydable. TEL Indy offre une résolution d'image améliorée et une précision de gravure, utilisant une optique avancée, une source laser hélium-néon et une machine de lyophilisation pour minimiser la contamination des particules. L'outil dispose d'un design modulaire avec des têtes d'outils interchangeables pour passer facilement entre la gravure et les applications propres à la gravure. Le logiciel intégré permet aux utilisateurs d'ajuster automatiquement la puissance, la vitesse et la tension de chaque plaquette dans n'importe quelle configuration spécifiée. L'actif dispose également de la technologie Hydrofluorodiode (HFC) qui est conçu pour fournir un contrôle de profondeur précis et fiable pour la gravure. Le modèle HFC combine des gaz inertes pour réaliser une gravure uniforme sur toute la surface de la plaquette, tout en supprimant les émissions plasmatiques. Les têtes d'outils utilisées dans les systèmes de gravure TOKYO ELECTRON Indy offrent une précision et une résolution inégalées, permettant une résolution précise des motifs jusqu'à 10nm. Les têtes d'outils peuvent être personnalisées avec différents composants de type cartouche, y compris des via-outils, des rotateurs photorésistants et des sources d'évaporation métalliques. En outre, l'équipement Indy utilise des capteurs intégrés pour surveiller les paramètres clés du processus en temps réel, tels que les débits de gaz, les températures et les niveaux de puissance. Ces capteurs sont conçus pour détecter tout changement de processus avant qu'ils ne deviennent suffisamment significatifs pour affecter le rendement. TEL/TOKYO ELECTRON Indy système de gravure prend également en charge un ensemble de fonctions, y compris un mode de gravure à basse température pour la gravure des rainures, un mode de gravure rapide pour les processus de grand volume, et une fonction de détection des anomalies pour prédire et prévenir les éventuelles aberrations des plaquettes. En plus d'offrir des performances de gravure supérieures, TEL INDY offre également une capacité de traitement à haut débit, un débit élevé et une uniformité supérieure. Avec une gamme complète de fonctionnalités et de capacités, TOKYO ELECTRON Indy est le choix idéal pour alimenter vos processus de production de gravure.
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