Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9245343 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher utilisé dans la fabrication de divers appareils, y compris des puces de circuits intégrés, des écrans, des capteurs et des cellules solaires. Il s'agit d'un outil de pointe connu pour fournir un traitement de gravure et de cueillette précis et fiable. TEL Indy etcher/asher dispose d'une buse plasma étroite et profonde qui distribue l'énergie plasmatique régulée pour générer une gravure profonde ou des processus propres dans un large éventail de matériaux, y compris des substrats bas-k. La buse étroite et le couplage inductif faible permettent une grande gravure anisotrope ou processus propre avec une grande profondeur et une excellente sélectivité. TOKYO ELECTRON Indy etcher/asher dispose d'un générateur de plasma pulsé de grande puissance qui peut fournir un maximum de 1 kW tandis que son contrôleur intégré multi-composants innovant et le logiciel SECS-GEM permettent un traitement automatisé des substrats avec des paramètres de données contrôlés par ordinateur et des recettes programmables. En outre, une large gamme de gaz de procédé peut être traitée pour une grande variété d'applications. Indy etcher/asher est configuré avec une conception à deux chambres qui augmente la productivité et permet une plus grande uniformité lors du traitement des appareils dans un environnement de production. Le générateur se compose d'une source hyperfréquence, d'un générateur RF, d'un système de distribution et de distribution de gaz. Les contrôleurs et les logiciels sont compatibles avec les paramètres d'entrée/sortie tels que MFC, contrôleurs de débit massique, micro-contrôleur, réseau PC et wafer Mats. D'autres avantages de TEL/TOKYO ELECTRON Indy etcher/asher comprennent des configurations de chambres flexibles, un choix de deux types différents de puissance d'entrée - AC ou DC - et sa compatibilité avec l'interface standard de contrôle de processus TEL. La machine est robuste et compacte pour une installation facile et une répartition efficace de l'espace. Connu pour sa fiabilité, sa précision, sa répétabilité et sa flexibilité, TEL INDY etcher/asher est une technologie de traitement tout-en-un idéale qui répond aux besoins de l'industrie moderne. Son rapport coût-efficacité et sa maintenance simple en font un dispositif préféré pour les applications de gravure et de cueillette.