Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9276770 à vendre en France
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ID: 9276770
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
Furnace, 12"
Process: Poly
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher conçu et fabriqué par TEL (TOKYO ELECTRON). Il est spécifiquement conçu pour permettre la gravure sélective et le dépôt de matériaux tels que des films de métaux et de polymères sur des substrats et pour réaliser une couche de matériau contrôlée. TEL Indy a une conception modulaire avec trois composants principaux : chambre de gravure, unité de dépôt et unité de nettoyage, logée dans une chambre à vide. La chambre de gravure est en aluminium anodisé et sert à libérer du gaz et à introduire des produits chimiques pour la gravure. L'unité de dépôt est en acier inoxydable et sert au dépôt d'un film mince sur la plaquette. L'unité de nettoyage est en acier inoxydable poli et se compose de plusieurs buses et chambres qui permettent un nettoyage humide et sec. TOKYO ELECTRON Indy dispose d'un large éventail de paramètres de contrôle, y compris la pression, la température, le débit de gaz et le temps, pour s'assurer que la gravure exacte et le dépôt ont lieu. En outre, Indy utilise plusieurs fonctions de sécurité, telles que plusieurs interrupteurs de pression, rhéostats de gaz, et des emboîtements, pour assurer une performance et une sécurité optimales. TEL/TOKYO ELECTRON Indy possède un système de vide autonome breveté qui assure l'intégrité de la chambre et empêche les fuites de matériaux. Le système dispose également d'une fonction de surveillance à distance qui permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster à distance les paramètres du système. TEL Indy utilise plusieurs techniques de gravure et de dépôt à semi-conducteur, telles que la gravure à l'arc par résonance électronique-cyclotron (ECR), le dépôt par évaporation par faisceau d'électrons (EBE) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il est également équipé d'une gamme d'accessoires, tels que des chambres de réaction, des pompes et des serrures de charge, pour faciliter les différents procédés de gravure et de dépôt. TOKYO ELECTRON Indy est conçu avec un haut degré de polyvalence, permettant aux utilisateurs de graver et de déposer une large gamme de matériaux, y compris le silicium, l'aluminium et les films semi-conducteurs. En conclusion, Indy est un graveur/asher très avancé spécialement conçu pour la gravure sélective et le dépôt de matériaux. Il dispose d'une large gamme de paramètres de contrôle et de multiples caractéristiques de sécurité pour garantir des performances et une sécurité optimales. De plus, sa conception modulaire, sa gamme d'accessoires et ses capacités polyvalentes de gravure et de dépôt des semi-conducteurs en font un outil idéal pour diverses applications de gravure et de dépôt.
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