Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311184 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy
ID: 9311184
Systems Process: DIFF 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un équipement de gravure/cendres supérieur qui fournit un contrôle précis des processus de gravure/cendres pour la fabrication de puces mémoire et de dispositifs semi-conducteurs très complexes. Le système est conçu avec une technologie avancée de gravure, qui permet de graver ou d'aspirer avec une variété de différents types de matériaux et géométries. Il offre des capacités de processus critiques telles que le contrôle variable du processus de gravure/cendres, le balayage de l'étage de l'équipement, le contrôle de la précision de l'étage du substrat et la détection automatisée des défauts. La machine est capable de manipuler des substrats tels que le silicium, le germanium, l'arsenide de gallium et le phosphure d'indium. Tous les types de matériaux peuvent être gravés ou cendrés sans avoir besoin de matériel externe. La machine est équipée d'un panneau avant tactile et d'une variété de fonctions de sécurité et de surveillance des processus. Il dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive, avec toutes les fonctionnalités et options nécessaires organisées dans un format clair et organisé. L'équipement est livré avec une gamme de paramètres de contrôle de processus gravure/cendres, y compris la tension réglable, la puissance, la pression et le courant. Il dispose de plusieurs capteurs et dispositifs de mesure qui mesurent diverses qualités du processus de gravure ou de cueillette, telles que la pression, le courant et la température. Ces mesures permettent d'optimiser le processus pour différents matériaux et géométries de substrat. TEL Indy dispose d'une architecture avancée de commande et de communication, fournissant une réponse rapide aux commandes. La machine à faible bruit possède également une technologie antivibratoire qui permet de maintenir une grande précision lors des processus de gravure/cendres. De plus, l'équipement peut être automatisé efficacement, ce qui permet de gagner beaucoup de temps par rapport au fonctionnement manuel. L'outil est conçu pour gérer la production de gros volumes, avec une capacité de 80 à 160 plaquettes par heure. De plus, la configuration parallèle de la chambre de gravure sèche et de la chambre asher permet une augmentation du débit, réduisant encore le temps de traitement global. Il est également possible d'augmenter le nombre de plaquettes en cours de traitement en changeant les configurations de gravure sèche et de cendrier. TOKYO ELECTRON Indy est un actif avancé de gravure/cendres, conçu pour la fabrication de substrats complexes. Le modèle offre un contrôle précis des processus de gravure/cendres, permettant la production de produits de première qualité. La combinaison de fonctionnalités avancées telles que le contrôle variable des processus, l'automatisation et le haut débit fait de l'équipement le choix idéal pour la fabrication de substrats complexes.
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