Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311326 à vendre en France
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ID: 9311326
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
System, 12"
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher conçu pour graver et asphériser rapidement de grandes quantités de matériaux. Cet équipement est réalisé avec une chambre de dépôt en couche de poly-silicium, assurant un débit de traitement efficace des plaquettes. Cette chambre peut être modifiée pour graver un large éventail de matériaux de dépôt tels que le silicium, le germanium et l'oxyde d'aluminium. L'équipement d'automatisation de TEL Indy est conçu pour contrôler rapidement et précisément le processus de gravure, permettant aux fabricants de gagner du temps et d'améliorer la précision. Le poste de transfert de plaquettes est également incorporé, qui peut charger jusqu'à 100 plaquettes et les placer directement sur le module de gravure approprié. Cela permet un traitement plus rapide des plaquettes que les systèmes de transfert manuel. TOKYO ELECTRON Indy est une puissante plate-forme de gravure avec un contrôle supérieur sur le processus de gravure. Il utilise une technologie de gravure innovante et de pointe pour graver les matériaux de façon constante à haute vitesse. Le système de contrôle de processus offre des mesures de profondeur de gravure précises, assurant que les fabricants peuvent créer un produit gravé et asphérisé avec précision. Son matériel est intégré dans une machine compacte, offrant une grande capacité de traitement des plaquettes. L'unité intégrée de contrôle de l'uniformité assure que cet équipement fournira des performances de substrat améliorées et cohérentes. Cette machine est capable d'aider à éliminer les erreurs et les processus intensifs en temps. L'ingénierie de la ligne Indy offre une chambre de gravure robuste qui peut répondre aux exigences de pression spécifiques au processus de gravure. La plaque inférieure de la chambre est conçue pour être parfaitement fermée et une fuite mécanique négligeable se produira. Le mode d'entrée des gaz de gravure suit de près le processus requis dans la conception d'un seul graveur de plaquettes. L'injection de gaz de gravure dans la chambre est contrôlée par les alimentations de gravure incluses, permettant un procédé optimal. Cet outil utilise également une filtration complète des gaz d'échappement, permettant l'utilisation de gaz de gravure propres. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Indy etcher/asher est un outil puissant, efficace et fiable qui est utilisé pour graver et asphériser rapidement de grandes quantités de matériaux. L'outil automatisé de contrôle des processus permet de gagner du temps, d'améliorer la précision et de réduire les erreurs. Le dispositif est construit avec une chambre de dépôt de couche de poly-silicium, qui offre un débit de traitement de plaquettes efficace. Le mode d'entrée des gaz de gravure et la filtration complète des gaz d'échappement contribuent également aux performances du dispositif. Toutes ces caractéristiques combinées en font un excellent choix pour la gravure et l'asphérisation des matériaux de toutes sortes.
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