Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379783 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher qui fournit des processus de gravure et de cueillette précis et répétables dans l'induit semi-conducteur. Il s'agit d'un graveur/asher à basse pression, à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) thermique rapide avec un équipement de contrôle en boucle fermée conçu pour réduire les débits de rupture dans les étapes de gravure. TEL Indy est conçu pour une gamme de procédés incluant : gravure et ashing, gravure diélectrique de grille, gravure de métal, enlèvement CMP, gravure SiO2/SiN et oxydation de grille de transistor. TOKYO ELECTRON Indy dispose d'un haut degré d'automatisation et de contrôle de la température, permettant des processus de gravure et d'ashing précis. Il dispose d'un haut degré d'uniformité plasmatique sur plusieurs plaquettes, et fournit également des options de contrôle temporel et Endpoint. La chambre à plasma CVD d'Indy peut accueillir jusqu'à vingt-cinq plaquettes par processus, avec une large gamme de paramètres de processus pour répondre aux besoins des utilisateurs. TEL/TOKYO ELECTRON Le logiciel avancé LDE (Learn-Data-Execution) d'Indy permet à l'utilisateur de personnaliser les processus de gravure et d'ashing en adaptant les paramètres du processus aux exigences définies par l'utilisateur. Le système stocke automatiquement la recette de processus optimale dans une base de données, permettant une commutation rapide entre les processus et les résultats reproductibles avec une entrée minimale de l'utilisateur. TEL Indy utilise une unité de distribution de gaz qui permet un contrôle précis du débit et la surveillance de tous les gaz CVD de gravure/ashing. Cette machine permet également l'introduction de gaz inertes dans la chambre pour abaisser le dépôt réfléchissant. L'etcher/asher dispose également d'une interface graphique conviviale et facile à utiliser qui fournit des données de processus dans un format intuitif et permet de dépanner et de surveiller les paramètres et le débit du processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Indy est un outil avancé de graveur/asher conçu pour fournir des processus efficaces et précis pour l'industrie des semi-conducteurs. Son logiciel LDE avancé, ses moyens de contrôle en boucle fermée, son haut degré d'automatisation et de régulation de la température, ainsi que son modèle de livraison de gaz, en font un équipement idéal pour une variété de processus de gravure et de cueillette de semi-conducteurs.