Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379803 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy
ID: 9379803
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12" Process: Nitride.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher conçu avec des technologies avancées et précises pour répondre aux besoins de la production de semi-conducteurs d'aujourd'hui. Il est équipé d'une source de vapeur de haute qualité capable de délivrer une vitesse de gravure allant jusqu'à 10 microns par minute. Le graveur/asher dispose d'un contrôle de profil automatique, permettant un processus de gravure très précis et uniforme. Il est conçu pour être compatible avec tous les types de gaz de gravure et d'aspiration, y compris le CO2, CH4, SiH4, CF4, CH2F2 et SF6. L'etcher/asher est programmé pour fournir une répétabilité de processus exceptionnelle avec l'uniformité et la précision de processus nécessaires pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'un équipement unique de rétroaction automatique qui surveille constamment la température et la pression afin de maintenir les paramètres optimaux du processus de gravure. Ce système efficace permet d'éliminer les problèmes liés aux fluctuations de température et de pression. Sur le plan de la sécurité, le graveur/asher est conçu avec une série de mesures de précaution en place pour protéger les techniciens contre l'exposition aux matières dangereuses. Ces mesures comprennent des systèmes de validation et d'arrêt de la sécurité, ainsi qu'une unité de contrôle automatique de la pression. De plus, une machine à gaz inerte côté sec aide à éliminer les résidus de particules de gravure/cendres de la chambre. TEL Indy est spécialement conçu pour répondre aux besoins et aux exigences des applications avancées de gravure et d'ashing. Ses caractéristiques avancées font de ce graveur/asher idéal pour la fabrication précise et précise de dispositifs semi-conducteurs très avancés. Il est conçu pour maintenir la répétabilité du processus et les paramètres de contrôle tout en optimisant les temps de cycle. Avec ses caractéristiques supérieures, le graveur/asher fournit une solution intuitive et fiable pour les lignes de production de semi-conducteurs à haut volume d'aujourd'hui.
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