Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379806 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un graveur/asher conçu pour le traitement complexe des semi-conducteurs avancés. L'équipement est capable de traiter des plaquettes jusqu'à douze pouces de diamètre et peut traiter diverses applications telles que le dépôt photochimique et électrochimique, la gravure et la résistance au dénudage. Il est chargé de fonctions de contrôle automatisé des processus et peut accueillir jusqu'à quatre plaquettes à la fois. L'etcher fonctionne en utilisant une source de plasma à décharge induite par laser (LIDP) qui sert à déposer du matériau sur un substrat pour former une couche de dispositif. L'etcher est capable d'utiliser divers gaz pour ses opérations, notamment Ar, CF4, PTFE, O2 et CHF3. La source de plasma LIDP a quatre niveaux de puissance, qui peuvent être contrôlés pour différents processus de gravure selon l'application. TEL Indy dispose également d'un module de contrôle haute résolution qui est utilisé pour régler la puissance et le débit de gaz. Cela fournit des résultats de contrôle de processus plus précis et permet à TOKYO ELECTRON Indy de gérer des exigences d'application plus complexes. Indy est également équipé d'un système de sécurité avancé. Cela comprend des contrôles de sécurité des niveaux de puissance de la source et des réglages du débit et de la pression du gaz. L'unité dispose également d'une soupape de sécurité passive pour détecter toute fuite de gaz qui pourrait survenir pendant le fonctionnement. En outre, la machine est équipée d'un dispositif Interlock, qui est conçu pour empêcher l'équipement de démarrer si l'un des paramètres de sécurité n'est pas activé. TEL/TOKYO ELECTRON La conception de chambre d'Indy présente une forme innovante qui assure une uniformité optimale, maximisant l'efficacité du processus de gravure. Le graveur a également un faible taux de décapage qui garantit que les résultats de gravure sont de la plus haute qualité. Ce faible taux de strippage est également conçu pour éviter toute contamination au cours du processus. TEL Indy est un graveur polyvalent équipé de fonctionnalités avancées. Sa conception modulaire le rend adapté à une grande variété d'applications de gravure. Il a un excellent contrôle sur les processus de gravure et de dépôt et peut gérer des exigences complexes tout en fournissant des résultats supérieurs. L'outil est construit avec des caractéristiques de sécurité pour maximiser la sécurité pendant les opérations et prévenir la contamination. Il est sûr de fournir des résultats fiables et précis.