Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9381806 à vendre en France
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ID: 9381806
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VOS-56-101P Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: STEC
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Storage
Front panel signal tower
Carrier transfer
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Operating system: Linux V2.13
Utility box:
WAVES Controller
GFC Panel
Operation panel
Data I/O
Gas unit
Cooling unit
APC Controller
Temperature controller
Vacuum line
Load port:
I/O FFU
Side FFU
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit
N2 Purge unit
RCU Unit
Gases:
SiH4
SiH4Cl2
N2O
NH3
Missing parts:
QUARTZ Wares
Scavenger
Manifold
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 440/208 V
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy est un équipement asher/etcher fiable conçu pour la gravure précise à grande échelle de large gamme de matériaux. Le système dispose d'une source intégrée de technologie de procédé avancée et de plates-formes technologiques pour fournir d'excellentes performances de gravure. Cela permet de graver un large éventail de types de matériaux tels que les semi-conducteurs, les puces semi-conductrices, les substrats organiques, les couches minces, et bien d'autres à un niveau élevé de précision. L'unité est livrée avec un automate programmable pour un mouvement et un contrôle précis, permettant la gravure précise de motifs même complexes. La machine est capable de supporter une variété de recettes de processus, telles que la gravure à une seule couche, la gravure à plusieurs couches, AutoClick, et la gravure multi-masque. Ces fonctionnalités se combinent pour donner à l'utilisateur une solution de gravure complète avec de multiples combinaisons de capacités de processus. L'outil dispose également d'une fonction d'auto-nettoyage intégré pour un nettoyage rapide et efficace de la chambre de gravure, assurant des performances constantes. De plus, l'actif est également capable d'utiliser de l'argon, de l'azote et des gaz à base d'oxygène pour des applications de gravure. Le modèle offre également une protection efficace contre la contamination des procédés, avec un environnement de haute pureté, un équipement de livraison de gaz efficace et des algorithmes de contrôle avancés. Cela permet l'extraction maximale des produits chimiques de procédé, tout en minimisant le taux de contamination. En plus des performances de gravure sûres, le système dispose également d'une variété de fonctionnalités supplémentaires, telles qu'une interface utilisateur complète, jusqu'à deux fois la vitesse média d'autres équipements, et la compatibilité avec divers matériaux. L'unité dispose également d'une capacité de surveillance en temps réel qui permet aux utilisateurs de surveiller in situ la vitesse de gravure de différents matériaux, ainsi que d'un ensemble d'alarmes pour détecter tout changement inattendu dans les conditions de gravure. Dans l'ensemble, TEL Indy etcher/asher est une machine idéale pour ceux qui ont besoin d'une solution de gravure fiable, efficace et complète. Avec son interface conviviale, sa capacité à supporter une large gamme de recettes de gravure et ses fonctionnalités avancées, TOKYO ELECTRON Indy est un choix idéal pour une grande variété d'applications de gravure.
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