Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT #293734290 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil de pointe combine des capacités de gravure et d'ashing pour fournir un traitement précis et uniforme d'une large gamme de matériaux avec un débit et une répétabilité élevés. L'une des caractéristiques clés de TEL MB2-730 HT-HT est sa capacité de fonctionnement à haute température, permettant le traitement de divers matériaux difficiles tels que le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et diverses couches métalliques. Le système est équipé d'une chambre à haute température pouvant atteindre des températures allant jusqu'à 400 ° C, permettant des processus de gravure et de cueillette agressifs sans compromettre l'intégrité des matériaux traités. TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT utilise des techniques avancées de traitement du plasma pour obtenir une excellente sélectivité, un contrôle de vitesse de gravure et une uniformité sur de grandes tailles de substrat. L'unité dispose d'une source de plasma RF à double fréquence qui fournit un réglage précis des paramètres plasmatiques pour optimiser les performances de gravure et d'ashing pour différentes piles de matériaux et exigences de processus. La conception à double fréquence assure un contrôle efficace de l'énergie ionique et minimise les dommages aux structures sensibles des appareils lors du traitement. MB2-730 HT-HT est équipé d'une machine de manutention des plaquettes de grande capacité qui supporte les modes de traitement des plaquettes simples et des lots, ce qui le rend adapté aux environnements de production en volume. L'outil est hautement configurable et peut être personnalisé avec plusieurs modules de processus, systèmes d'injection de gaz, et des capacités de détection d'endpoint pour répondre aux besoins spécifiques des clients et des processus. En termes de flexibilité de procédé, TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT offre une large gamme de recettes de gravure et de cendrage pour diverses applications, y compris la gravure diélectrique, la gravure métallique, le strippage de résistance et l'élimination des polymères. L'actif dispose d'algorithmes avancés de contrôle des processus et de capacités de surveillance en temps réel qui permettent une optimisation précise des paramètres du processus et une meilleure répétabilité des processus. De plus, TEL MB2-730 HT-HT intègre des dispositifs de sécurité avancés tels que les systèmes de surveillance du gaz, la protection contre les températures excessives et les mécanismes d'interception pour assurer un fonctionnement sûr et prévenir les risques potentiels pendant le traitement. Le modèle comprend également une interface conviviale avec des commandes logicielles intuitives et des capacités d'enregistrement des données pour faciliter le fonctionnement et la surveillance des processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT est un équipement de pointe de graveur/asher qui combine des capacités de traitement à haute température, une technologie plasma de pointe et un contrôle de processus supérieur pour répondre aux exigences exigeantes des applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses hautes performances, sa fiabilité et sa polyvalence, MB2-730 HT-HT est un outil précieux pour optimiser les performances des appareils et obtenir des rendements élevés dans les installations de fabrication de semi-conducteurs.