Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT #9145482 à vendre en France
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ID: 9145482
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
CVD System, 8"
(2) Chambers
WSi Process
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT est un graveur/asher de pré-nettoyage avancé capable d'obtenir des résultats de nettoyage optimaux, en particulier dans les cas où une température élevée est nécessaire. Cette machine est équipée avec un processus de gravure à l'eau forte de gaufrette haut et de température spécial, en y permettant d'opérer à jusqu'à 700 ˚C. Le procédé de gravure des plaquettes à haute température assure l'élimination des résidus et des contaminants qui n'ont pas pu être éliminés par les méthodes classiques de nettoyage par voie humide, assurant le plus haut niveau possible de propreté et de précision. Cet équipement comprend une chambre de traitement de quartz étanche et blindée, conçue pour protéger l'opérateur de tout gaz hostile, et pour aider à assurer la propreté du milieu de gravure. Il est également livré avec une option de vecteur pour graver des couches minces uniformes certains des substrats les plus difficiles. Un système d'entrée de gaz unique permet à l'utilisateur de spécifier la concentration et la direction du gaz, assurant des conditions parfaites pour la gravure à haute température. TEL MB2-730 HT-HT comprend une gamme complète de paramètres de processus, qui peuvent être programmés dans l'unité pour contrôler le processus de gravure avec une répétabilité précise. Le contrôle dynamique de la rétroaction est également inclus, afin de s'assurer que le processus est conforme aux spécifications exactes. Les paramètres du processus comprennent le temps, la température, la puissance, la concentration de gaz et la pression, ce qui permet des motifs de gravure flexibles et précisément contrôlés. Cette unité est conçue avec un grand port de vue en quartz qui permet d'inspecter tout l'intérieur de la chambre d'évènement pendant le déroulement du processus. Une multitude d'accessoires sont disponibles, tels que des dispositifs de direction de faisceau, des lentilles de focalisation de bouclier, des capteurs de température de substrat, et une large gamme de mélangeurs et de pompes d'entrée de gaz. Cela permet à l'utilisateur de mieux contrôler la façon dont le processus est exécuté et contribue également à réduire les coûts de fonctionnement globaux. TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT est une machine polyvalente et fiable qui est idéale pour obtenir des résultats optimaux dans les applications de gravure à haute température. C'est un outil indispensable dans des environnements de traitement ultra-propres. La haute précision et la haute performance de la machine la rendent idéale pour des applications de gravure exigeantes telles que le MEMS, la fabrication d'écrans et de nombreux autres procédés semi-conducteurs.
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