Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9167961 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 Etcher/Asher est un système de gravure à sec multi-chambres, monobloc, qui fournit une précision de gravure ultra-élevée pour divers matériaux avancés. Ses deux chambres de processus disposent d'une grande fenêtre de processus, permettant la plus grande polyvalence. En combinant une source de plasma à couplage inductif de puissance moyenne et de puissance élevée, une excellente utilisation des étapes de gravure est encore possible. Le graveur/asher dispose également d'une fonction de nettoyage in situ ainsi que d'une étape d'échantillonnage de pointe contrôlée par suivi. Cela permet d'améliorer l'uniformité et la répétabilité du processus de gravure pour les couches simples et multiples. Le système est équipé de nombreux instruments de sécurité qui le rendent ergonomique et pratique à utiliser. Par exemple, l'opérateur peut définir des valeurs de paramètres à l'aide de l'écran tactile avec une interface graphique intuitive, et les systèmes de verrouillage automatique protègent le système contre les incendies et les conditions dangereuses. Avec une empreinte de 2350 x 2390mm TEL MB2-730 peut accueillir une gamme de tailles de plaquettes. Il peut être utilisé avec des supports de plaquettes avec une grande flexibilité de chargement de plaquettes combinée avec précision et reproductibilité. La technologie avancée de la chambre permet une grande sélectivité lors de la gravure simultanée de différents matériaux. Il peut atteindre jusqu'à 40nm de précision lors de l'exécution des processus de gravure et jusqu'à 80nm de précision lors de l'exécution des processus de gravure et d'ashing. Il offre aussi des conditions idéales pour graver à l'eau forte des appareils de semi-conducteur fabriqués sur Si, 3D/2.5D les systèmes intégrés et les circuits intégrés à grande échelle. TOKYO ELECTRON MB2-730 est conçu pour supporter des procédés tels que la gravure de composés, le vide RIE pour la gravure diélectrique ultra-basse k, et des dépôts étendus incluant des couches métalliques et diélectriques. Polyvalence, processus précis, utilisation puissante des sources et sécurité ne sont que quelques-uns des avantages de ce graveur/asher fiable. Par conséquent, MB2-730 Etcher/Asher est le choix parfait pour tous les besoins avancés de gravure de matériaux.