Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9398831 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 est un graveur avancé, spécialement conçu pour les applications de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). Cet etcher est parfait pour les opérations nécessitant un contrôle précis des précurseurs fluor et soufre utilisés dans le procédé de gravure. L'équipement comprend une boîte à gaz, deux chambres à quartz reliées entre elles, et une chambre de serrure. Il comprend également une serrure de charge avec transfert de plaquettes et un ensemble de pompage à vide, lui permettant d'atteindre une pression de base inférieure à 6 mTorr. TEL MB2-730 est équipé de la propriété TEL Advanced Plasma Source (APS) qui dispose d'une configuration multi-canaux plasma à haut rendement et à faible bruit. Ce système permet un contrôle précis des paramètres de dépôt précis, donnant des produits de la plus haute qualité. Il est également conçu pour des procédés de gravure reproductibles et uniformes. Il est capable de graver différents substrats tels que des plaquettes de silicium, des couches minces et du verre amorphe. TOKYO ELECTRON MB2-730 utilise une unité hybride de commande de gaz, qui comprend une boîte de mélange de gaz, une chambre de mélange et un boîtier turbo-pompe à haut débit. Cette configuration permet aux utilisateurs de définir avec souplesse la composition précise des gaz de gravure, ce qui leur permet d'adapter précisément le procédé de gravure. La machine comprend également un moniteur à cristaux de quartz (QCM), permettant un contrôle précis du processus de dépôt. MB2-730 est conçu pour des performances fiables et à long terme. L'outil dispose d'une fonction d'autodiagnostic qui permet aux utilisateurs de prédire tous les besoins d'entretien potentiels, ainsi qu'un cycle de nettoyage automatisé pour réduire le temps et l'effort d'entretien. De plus, l'actif comprend des dispositifs de sécurité tels que des alarmes de surpression et des limites de température, afin d'assurer la sécurité de l'opérateur. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 est un graveur avancé parfait pour les opérations nécessitant un contrôle précis des précurseurs fluor et soufre utilisés dans le processus PECVD. Il est équipé de la propriété TOKYO ELECTRON Advanced Plasma Source (APS) et d'un modèle hybride de contrôle des gaz offrant aux utilisateurs la flexibilité d'adapter avec précision le processus de gravure en fonction de leurs besoins. TEL MB2-730 comprend également des dispositifs de sécurité tels que des alarmes de surpression et des limites de température, ainsi qu'un équipement d'autodiagnostic, ce qui en fait une option fiable et sûre pour les applications de gravure.