Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594208 à vendre en France
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ID: 293594208
Style Vintage: 1999
Dry etcher
Gas box
Glass size: 370 x 470 mm
(2) Chambers
Monitor rack
Loadlock
Rear block
Regulator box
Indexer
Main rack
Loadlock pump rack
Loadlock pump
P/C-R Pump
P/C-L Pump
Turbo controller rack
(2) Chillers
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II est un graveur/asher de pointe. Il est développé et fabriqué par TEL et a une large gamme d'applications et d'utilisations dans l'industrie. TEL ME-450II est un équipement de gravure à plasma direct doté d'un design multi-chambres, offrant à l'utilisateur un environnement stable et cohérent pour la gravure et la gravure. La chambre du système est optimisée pour la gravure du silicium, le substrat le plus couramment utilisé dans l'industrie électronique. Il convient également pour d'autres matériaux, tels que le verre et le quartz. TOKYO ELECTRON ME-450II utilise une source de plasma multi-longueurs d'onde optimisée pour fournir une vitesse de gravure élevée, une grande fenêtre de processus, et une sélectivité exceptionnelle. La densité plasmatique élevée de l'unité, la faible charge du substrat et un contrôle du retard supérieur permettent des performances de gravure supérieures sur une large gamme de substrats et de films. La conception de la chambre de la machine utilise plusieurs sources et gaz de gravure pour une flexibilité maximale du procédé. ME-450II est livré standard avec une cathode fixe, une cathode cylindrique et des électrodes planes pour divers flux de processus, y compris la gravure ionique réactive (RIE). Les électrodes planaires peuvent être utilisées pour pagayer le courant alternatif ou le courant continu pulsé vers les substrats pour une fidélité supérieure au motif. De plus, la livraison et le contrôle automatiques du gaz de l'outil permettent une utilisation uniforme du gaz et un contrôle total du processus. TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II comprend également une variété d'outils et de fonctionnalités divers pour garantir une bonne performance et un bon rendement des procédés. A titre d'exemple, on peut citer un positionneur automatisé de substrat et un porte-substrat à faible réflexion. TEL ME-450II utilise également des matériaux d'ingénierie céramique durables pour minimiser les temps d'arrêt et optimiser la maintenance. TOKYO ELECTRON ME-450II est équipé d'une variété d'alarmes et de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité du personnel et la stabilité des processus. Des diagnostics en temps réel sont fournis pour permettre aux utilisateurs de surveiller et de modifier rapidement les processus sans arrêter l'actif. ME-450II est conçu pour s'intégrer facilement dans les environnements de production existants et est compatible avec une variété de substrats et de films, ce qui rend un modèle de production relativement rapide à mettre en place et facile à utiliser. En résumé, les progrès de l'ingénierie et du logiciel ainsi que la combinaison de sources de gravure uniques et de contrôle du débit de gaz font de TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II un outil idéal pour la gravure et la gravure. Ses caractéristiques avancées, combinées à la conception de chambres multi-chambres et aux outils de processus associés, garantissent des résultats reproductibles, fiables et de haute qualité.
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