Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9083622 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II
ID: 9083622
Dry etchers.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II est un graveur/asher complet spécialement conçu pour le traitement de pipeline à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement permet des processus de gravure et de cueillette rapides sans déplacement de plaquettes. Il est construit avec un système d'évaluation multidimensionnelle avancé qui permet d'ajuster avec précision plusieurs paramètres de processus, permettant ainsi une production à haut débit. L'unité est équipée d'un chargeur et d'un déchargeur de grande capacité, capables de manipuler des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. Il est également capable de scanner jusqu'à 200mm de plaquettes sur toute la surface, avec une résolution de 5nm. Cette machine de balayage permet un contrôle de processus de haute précision, permettant un réglage précis du processus de gravure/cueillette. TEL ME-450II est capable de gravure double face, assurant une finition de surface uniforme de part et d'autre de la plaquette. Il intègre également un certain nombre de caractéristiques conçues pour minimiser les défauts, y compris un outil intégré de nivellement automatique, une chambre de type étagère, et un atout automatisé d'alignement de précision. En termes de paramètres de processus, TOKYO ELECTRON ME-450II est capable de traiter des recettes de gravure/cueillette simples et complexes avec une précision répétable. Il peut gérer des taux de gravure aussi bas que 5nm/min, et aussi haut que 400nm/min, selon la configuration. Le modèle a également la capacité de contrôler plusieurs canaux d'alimentation en gaz avec une plage de température maximale allant jusqu'à 1400 ° C, donnant aux utilisateurs un contrôle complet sur les températures de gravure ou d'ashing. ME-450II est également équipé d'un puissant équipement de pompage à vide, avec un délai de pompage aussi bas que 10 secondes. Il dispose également d'une fonction de surveillance avancée pour alerter les utilisateurs des irrégularités de processus. Cette fonctionnalité permet de reconnaître rapidement toute irrégularité, permettant aux utilisateurs de prendre rapidement des mesures correctives pour assurer une production continue et de haute qualité. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II dispose également d'un logiciel complet conçu pour optimiser la commodité d'utilisation. Ce paquet comprend une base de données pour stocker l'information sur les recettes, des outils pour optimiser les recettes et des capacités intégrées de contrôle des processus. Le logiciel dispose également d'une interface graphique conviviale qui permet un fonctionnement rapide de la recette et une analyse rapide des données série. Dans l'ensemble, TEL ME-450II est un graveur/asher complet qui offre un contrôle de débit et de processus supérieur. C'est un outil fiable et polyvalent qui est bien adapté à la production lourde de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs.
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