Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ME-600P2 / ME-600IR #9382344 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IR est un graveur/asher conçu pour la gravure de précision et le cendrage d'une grande variété de matériaux, y compris le silicium, le quartz, l'arséniure de gallium, le nitrure de gallium, le cuivre, l'aluminium, le titane, le tungstène et l'acier. TEL ME-600P2/ ME-600IR dispose d'un module avancé de traitement grossier/fin, capable de traiter simultanément jusqu'à 12 plaquettes avec une surface totale de traitement pouvant atteindre 1 310 cm ². Il est également équipé d'un four à quartz contrôlable indépendamment, permettant des températures allant jusqu'à 1350 ° C et offrant un haut niveau de stabilité du procédé. La technologie Auto Slope unique permet de mettre constamment à jour les profils de gravure pour une profondeur de gravure/cendres uniforme, tandis que les systèmes améliorés de chargement et de déchargement des plaquettes de surveillance assurent un fonctionnement facile. Le ME-600P2 comporte 13 sources de gaz plasmatiques différentes (hélium, argon, hexafluorure de soufre, tétrafluorure de carbone, fluorure d'hydrogène, oxygène, azote, ammoniac, silicium, silsesquioxane d'hydrogène, borane d'hydrogène, chlore et trifluorure de bore) qui permettent un large éventail de processus de gravure et de cendrage, tandis qu'une seule chambre de gravure/cendres de substrat permet un système de transfert de substrat flexible. Ce graveur/asher peut également être facilement intégré dans les systèmes d'automatisation, ce qui le rend idéal pour une production complexe et à haut volume. En outre, le ME-600IR dispose d'une ligne supplémentaire de lampes IR qui peuvent être utilisés pour les processus de cendre/séchage. TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IR est une excellente solution pour une large gamme d'applications de gravure et d'ashing dans les industries de précision telles que la microélectronique et la fabrication de semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques avancées et sa stabilité de processus exceptionnelle, il est le choix idéal pour obtenir des résultats de haute qualité avec un minimum de temps de traitement.