Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Metal CVD Chamber for Triase+ Ti/TiN #9294228 à vendre en France

TEL Metal CVD Chamber for Triase + Ti/TiN est un graveur/asher sophistiqué conçu pour déposer Ti/TiN sur de grandes surfaces avec une reproductibilité élevée. Cet équipement est en acier inoxydable, ce qui lui permet de résister aux températures extrêmes et aux niveaux de pression. Il dispose également d'un équipement en boucle fermée qui assure une grande pureté, homogénéité et répétabilité. Le système comprend un mécanisme unique de centre de gaz qui fournit un flux de gaz composé au niveau du film et du gaz soufflé en aval de la chambre de gravure. Cela garantit des dépôts de bonne qualité sur des surfaces entières de plaquettes. La chambre est également livrée avec une unité de source modifiée qui contient jusqu'à cinq canaux de gaz et est utilisée pour la formation de couches minces. De plus, la chambre de gravure comporte un régulateur de température pour élever et stabiliser la température avant le dépôt Ti/TiN. Pour faire fonctionner efficacement cette machine, l'opérateur doit comprendre les principes de Process Controller. Ce dispositif permet de régler manuellement tous les pré-processus, tels que la pression, la température et le débit de gaz d'alimentation. Il permet également à l'opérateur d'ajuster dynamiquement les paramètres du processus afin d'obtenir des performances optimales. Lors de l'utilisation de cet outil, l'opérateur doit s'assurer d'ouvrir le couvercle avant et le couvercle latéral de la chambre avant d'allumer le contrôleur de processus. On demande alors une température uniforme sur toute la chambre, généralement en introduisant d'abord le gaz de procédé. Le débit de gaz doit être contrôlé avec précision pour assurer une pression de gaz distributive et éviter une surpression. Cet actif est également équipé d'une fenêtre à quartz chauffée qui peut être actionnée par la même source d'énergie maítre de la chambre de gravure. Il est important de régler la température de la fenêtre de quartz pour les paramètres de gravure, ainsi que pour prévenir la contamination. En outre, l'opérateur doit vérifier régulièrement le positionnement de la fenêtre à quartz, afin d'éviter tout dommage éventuel et d'assurer les plus hautes performances du modèle. Bref, TOKYO ELECTRON Metal CVD Chamber for Triase + Ti/TiN est un puissant graveur/asher qui peut aider à fournir des dépôts reproductibles élevés sur de grandes surfaces. C'est un équipement complexe qui nécessite des connaissances sur les contrôleurs de processus, le contrôle de la température et le positionnement des fenêtres à quartz. Un suivi précis et régulier de tous les paramètres connexes est nécessaire pour obtenir les meilleurs résultats.